公开(公告)号：CN110178199A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201880005771.6

申请日：2018-02-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.多豪泽 ,  C.克里斯蒂安米勒 ,  B.查利 ,  T.沃尔克南特 ,  D.普雷克扎斯 ,  G.帕维亚 ,  H.斯特曼

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304

Abstract: 公开了一种用于通过带电粒子束自动化长期加工样品的方法和带电粒子束系统。该带电粒子束系统包括带电粒子源，该带电粒子源具有发射带电粒子的尖端(20)、引出电极(22)、抑制电极(21)、用于用引出电压偏置所述引出电极的第一可变电压源、用于用抑制电压偏置该抑制电极的第二可变电压源。该系统进一步包括控制器，该控制器被配置为：通过将聚焦带电粒子束在该样品的表面上进行扫描来加工该样品，该聚焦带电粒子束具有束电流；在加工该样品时，测量该束电流和该抑制电压；在第一预定义范围内调节该抑制电压，以将该束电流保持在第二预定义范围内；如果该束电流因为该抑制电压接近该第一范围的极限而超出该第二范围，则中断该样品的加工；执行源恢复过程；以及在执行该源恢复过程后继续加工该样品。

公开(公告)号：CN110178199B

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN201880005771.6

申请日：2018-02-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.多豪泽 ,  C.克里斯蒂安米勒 ,  B.查利 ,  T.沃尔克南特 ,  D.普雷克扎斯 ,  G.帕维亚 ,  H.斯特曼

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304

Abstract: 公开了一种用于通过带电粒子束自动化长期加工样品的方法和带电粒子束系统。该带电粒子束系统包括带电粒子源，该带电粒子源具有发射带电粒子的尖端(20)、引出电极(22)、抑制电极(21)、用于用引出电压偏置所述引出电极的第一可变电压源、用于用抑制电压偏置该抑制电极的第二可变电压源。该系统进一步包括控制器，该控制器被配置为：通过将聚焦带电粒子束在该样品的表面上进行扫描来加工该样品，该聚焦带电粒子束具有束电流；在加工该样品时，测量该束电流和该抑制电压；在第一预定义范围内调节该抑制电压，以将该束电流保持在第二预定义范围内；如果该束电流因为该抑制电压接近该第一范围的极限而超出该第二范围，则中断该样品的加工；执行源恢复过程；以及在执行该源恢复过程后继续加工该样品。

公开(公告)号：CN114509326A

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202111352817.1

申请日：2021-11-16

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： F.佩雷斯威拉德 ,  T.沃尔克南特

IPC: G01N1/32 ,  G01N23/20008 ,  G01N23/2202

Abstract: 本发明涉及一种用体积样本来制备微样本的方法。该方法包括以下步骤：a)将体积样本提供到显微镜系统中，其中，该体积样本的内部具有样本兴趣区域(ROI)；b)通过用第一粒子束来去除体积样本的样本材料从而露出第一截面表面和第二截面表面，来产生包括该样本兴趣区域的大薄片；其中，第一截面表面和第二截面表面彼此相反布置，并且这两个截面表面彼此间隔开，使得该兴趣区域位于这些截面表面之间；c)将大薄片相对于粒子束之一以一种方式定向，使得该粒子束和在上一个步骤中产生的第一截面表面相对于彼此成角度β，其中，该角度β在10°至90°范围内取值；d)通过与第一截面表面成角度β的粒子束来去除大薄片的样本材料，以露出ROI。