公开(公告)号：CN110178199A

公开(公告)日：2019-08-27

申请号：CN201880005771.6

申请日：2018-02-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.多豪泽 ,  C.克里斯蒂安米勒 ,  B.查利 ,  T.沃尔克南特 ,  D.普雷克扎斯 ,  G.帕维亚 ,  H.斯特曼

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304

Abstract: 公开了一种用于通过带电粒子束自动化长期加工样品的方法和带电粒子束系统。该带电粒子束系统包括带电粒子源，该带电粒子源具有发射带电粒子的尖端(20)、引出电极(22)、抑制电极(21)、用于用引出电压偏置所述引出电极的第一可变电压源、用于用抑制电压偏置该抑制电极的第二可变电压源。该系统进一步包括控制器，该控制器被配置为：通过将聚焦带电粒子束在该样品的表面上进行扫描来加工该样品，该聚焦带电粒子束具有束电流；在加工该样品时，测量该束电流和该抑制电压；在第一预定义范围内调节该抑制电压，以将该束电流保持在第二预定义范围内；如果该束电流因为该抑制电压接近该第一范围的极限而超出该第二范围，则中断该样品的加工；执行源恢复过程；以及在执行该源恢复过程后继续加工该样品。

公开(公告)号：CN110178199B

公开(公告)日：2022-06-07

申请号：CN201880005771.6

申请日：2018-02-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 ,  卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D.多豪泽 ,  C.克里斯蒂安米勒 ,  B.查利 ,  T.沃尔克南特 ,  D.普雷克扎斯 ,  G.帕维亚 ,  H.斯特曼

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/304

Abstract: 公开了一种用于通过带电粒子束自动化长期加工样品的方法和带电粒子束系统。该带电粒子束系统包括带电粒子源，该带电粒子源具有发射带电粒子的尖端(20)、引出电极(22)、抑制电极(21)、用于用引出电压偏置所述引出电极的第一可变电压源、用于用抑制电压偏置该抑制电极的第二可变电压源。该系统进一步包括控制器，该控制器被配置为：通过将聚焦带电粒子束在该样品的表面上进行扫描来加工该样品，该聚焦带电粒子束具有束电流；在加工该样品时，测量该束电流和该抑制电压；在第一预定义范围内调节该抑制电压，以将该束电流保持在第二预定义范围内；如果该束电流因为该抑制电压接近该第一范围的极限而超出该第二范围，则中断该样品的加工；执行源恢复过程；以及在执行该源恢复过程后继续加工该样品。

公开(公告)号：CN116046823A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202211326479.9

申请日：2022-10-27

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： H.斯特曼

IPC: G01N23/2202 ,  G01N23/20008 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及一种用于通过使用材料加工装置来在物体上制备样本的方法。本发明还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的材料加工装置。该方法包括：沿第一线在第一方向上引导光束经过物体的表面，其中在引导光束经过物体的表面时对物体的材料进行削磨；将第一方向改变为第二方向；沿第二线在第二方向上引导光束经过物体的表面，其中在沿第二线引导光束经过物体的表面时对物体的材料进行削磨，其中以脉冲的方式提供光束并且将光束引导到物体的表面上，其方式为使得在光束装置的第一操作状态下光束从物体削磨材料并且在第二操作状态下没有将光束引导到物体上，并且其中在第一操作状态下通过削磨物体上的材料来制备样本。

公开(公告)号：CN110858529B

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN201910795524.7

申请日：2019-08-23

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： H.斯特曼

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明涉及一种用于加工物体的方法，其中通过执行以下步骤来从物体中去除材料：以如下方式将粒子束引导至物体上，即，使得粒子束在物体上的入射位置沿着主扫描路径进行移动并且沿着横向于主扫描路径定向的子扫描方向进行移动，其中，基于参考信号和检测信号来控制粒子束的入射位置沿着子扫描方向的移动；根据参考信号来调整对粒子束的引导；以及检测二次粒子并产生检测信号，该检测信号表示所检测到的二次粒子的强度。对粒子束的入射位置沿着子扫描方向的移动的控制是使用零差检测原理实现的。

公开(公告)号：CN110858529A

公开(公告)日：2020-03-03

申请号：CN201910795524.7

申请日：2019-08-23

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： H.斯特曼

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/305

Abstract: 本发明涉及一种用于加工物体的方法，其中通过执行以下步骤来从物体中去除材料：以如下方式将粒子束引导至物体上，即，使得粒子束在物体上的入射位置沿着主扫描路径进行移动并且沿着横向于主扫描路径定向的子扫描方向进行移动，其中，基于参考信号和检测信号来控制粒子束的入射位置沿着子扫描方向的移动；根据参考信号来调整对粒子束的引导；以及检测二次粒子并产生检测信号，该检测信号表示所检测到的二次粒子的强度。对粒子束的入射位置沿着子扫描方向的移动的控制是使用零差检测原理实现的。