公开(公告)号：CN118899207A

公开(公告)日：2024-11-05

申请号：CN202410549238.3

申请日：2024-05-06

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： D·普雷克萨斯 ,  J·波默伦克

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/295 ,  H01J37/153

Abstract: 本发明涉及一种多极元件。特别地，本发明涉及一种用于例如扫描电子显微镜等粒子束系统以产生磁多极场或产生电‑磁多极场的多极元件。该多极元件包括：环绕该多极元件的中心轴线的管；布置在该管外部的外部空间组件和布置在管内的真空空间组件。该外部空间组件包括：环绕该管的导磁性周向极片；多个导磁性支撑件，该多个导磁性支撑件被布置成围绕该中心轴线分布并且从该周向极片延伸直至该管的外壁表面；以及多个线圈。该真空空间组件包括多个导磁性极片，该多个导磁性极片被布置成围绕该中心轴线分布并且从该管朝该中心轴线的方向延伸。

公开(公告)号：CN118629849A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410263886.2

申请日：2024-03-08

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： E·埃瑟斯 ,  D·普雷克萨斯

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/26

Abstract: 一种粒子束显微镜(1)，包括：用于产生粒子束(5)的粒子束源(3)；用于将粒子束(5)聚焦在物平面(9)上的物镜(7)；用于将电子(81)转换成光(83)的第一闪烁体(51)；用于通过电子(61)产生光(69)的第二闪烁体(53)；以及用于检测所产生的光(83、69)的光检测器(55、57)。其中，第二闪烁体(53)距物平面(9)的距离大于第一闪烁体(51)距物平面(9)的距离。第二闪烁体(53)具有表面72)，该表面面向物平面(9)并且来自物平面(9)的电子(61)穿过该表面，所述电子通过第二闪烁体(53)转换成光(69)。由第一闪烁体(51)产生并由光检测器(55、57)检测的光(83)入射在第二闪烁体(53)上。