一种类椭球形构件的定位方法

    公开(公告)号:CN105866149A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610214000.0

    申请日:2016-04-08

    Abstract: 本发明提供的类椭球形构件的定位方法,使用四维调节装置、基准光源及经纬仪进行至少三个位置的粗调与细调,实现了类椭球形构件在检测台面上的精确定位。该定位方法分别以基准光源所发出的正交激光束、经纬仪观察视场内的十字线与构件表面基准线的对齐状态作为调节依据,通过具有上下升降、360°旋转、前后倾动、左右倾动等具有四维运动功能的四维调节装置,对构件位置进行调节,直至基准线所在水平面的三个不同位置均为对齐状态。本发明的类椭球形构件的定位方法,适用于不带平整底面、具有类球对称几何外形、不易直接安装定位的密封容器等构件的中子应力检测场景,也可用于其它需要此类定位的检测场合。

    用于检测晶片的斜面上的污染物的XRF测量设备

    公开(公告)号:CN103969276A

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201410058293.9

    申请日:2014-01-29

    Abstract: 公开了用于检测晶片的斜面上的污染物的XRF测量设备。XRF(x射线荧光)测量设备(1)包括:x射线源(2),用于产生x射线(4),x射线光学元件(3),用于将来自x射线源(2)的x射线(4)引导至样品(5),样品(5),和EDS(能量色散谱)检测器(7),用于检测来自样品(5)的荧光x射线(14),其特征在于,样品(5)是晶片(6),特别是硅晶片,其中,x射线光学元件(3)被定位为将x射线(4)引导至晶片(6)的斜面(12)上,并且x射线源(2)加上x射线光学元件(3)具有至少是5×107计数/秒平方毫米的亮度,优选地具有至少是1×108计数/秒平方毫米的亮度。本发明允许改进对晶片的污染物控制,特别是硅晶片。

    X射线分析装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108693202A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201810256705.8

    申请日:2018-03-27

    Inventor: 小川理绘

    Abstract: 提供一种能够高精度地进行分析的X射线分析装置。保持状态变更机构(10),若通过移动机构使X射线源以及检测器的相对位置变更时,则使它们连动,以试样表面S1沿焦点圆的圆周配置成圆弧状的方式,对试样保持部(2)所保持的试样S的保持状态进行变更。由此,即便焦点圆的大小发生变化,也能使试样表面S1沿着焦点圆的圆周。其结果是,在检测器中检测在试样表面S1衍射的X射线时,能够防止X射线强度产生误差,从而可以得到正确的衍射信息。

    一种多功能X射线定向仪及方法

    公开(公告)号:CN106124542A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201610580470.9

    申请日:2016-07-22

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 一种多功能X射线定向仪及方法,属于单晶材料加工领域;多功能X射线定向仪包括:工作台、防辐射保护罩、X射线发生系统、衍射线接收系统、晶体样品旋转台和计算机控制系统;晶体样品旋转台中的样品放置台可通过拆卸螺栓进行更换;方法包括:利用多功能X射线定向仪进行晶体缺陷识别、不同晶体特征测定、手动定向测定和获取角度误差的方法;本发明集多种单晶体用X射线定向仪测量系统于一体,降低了设备成本,保证了产品一致性;对各单晶材料检测的数据进行融合整理,智能得到单晶材料的缺陷类型,提高了已有数据的利用效率;使用闪烁探测器作为X射线探测器,稳定度较高,抗干扰能力强,弥补了盖革管的不足。

    晶棒定向检测系统
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108760780A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810794228.0

    申请日:2018-07-19

    Inventor: 甄伟 赵松彬

    CPC classification number: G01N23/20025 H01L21/00

    Abstract: 本发明涉及晶体加工技术领域,具体地说是一种晶棒定向检测系统,包括移动机构、旋转机构、支承板、X光发生组件和信号系统组件,旋转机构安装于所述移动机构上并通过所述移动机构驱动移动,支承板安装于所述旋转机构前端并通过所述旋转机构驱动旋转,在所述支承板上设有定位探针、X光发生组件、信号系统组件、第一调整机构和第二调整机构,且检测时所述定位探针与晶棒相抵,所述X光发生组件通过第一调整机构驱动做圆弧运动,所述信号系统组件通过第二调整机构驱动做圆弧运动。本发明能够精确检测晶棒的角度信息,大大提高了晶棒角度检测精度和检测效率。

    一种超紧凑型飞秒电子衍射装置

    公开(公告)号:CN107449792A

    公开(公告)日:2017-12-08

    申请号:CN201710764232.8

    申请日:2017-08-30

    Abstract: 本发明涉及电子衍射技术领域,针对现有超快电子衍射装置难以突破100飞秒级时间分辨的技术问题,提供一种超紧凑型飞秒电子衍射装置,包括飞秒激光源、分束镜、三倍频装置、光学延迟线、真空腔室、飞秒电子枪、图像增强模块和图像采集系统;飞秒电子枪和图像增强模块沿紫外激光脉冲出射的方向依次设置于真空腔室内;图像采集系统设置在真空腔室的外部且正对图像增强模块;飞秒电子枪包括阴极和与阴极平行相对设置的阳极;阳极包括阳极电极和样品支撑网;阳极电极的中心开设完全贯穿阳极电极的中心阶梯孔,中心阶梯孔的大孔位于远离阴极的阳极表面;样品支撑网固定安装在中心阶梯孔内。

    X射线衍射仪毛细样品管支架及其使用方法

    公开(公告)号:CN106932419A

    公开(公告)日:2017-07-07

    申请号:CN201710256626.2

    申请日:2017-04-19

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: G01N23/20025

    Abstract: 本发明提供了一种X射线衍射仪毛细样品管支架及其使用方法,毛细样品管支架包括设备接驳头和毛细管接驳段,其特征在于:所述的毛细管接驳段横截面整体轮廓呈四方柱,四角呈圆弧过渡,四个面中心位置分别开有“V”型槽口,样品管通过粘附剂固定在“V”型槽口中,样品管管槽沿Phi轴方向。本发明既可用于Omega轴转动条件下的毛细管实验,还可提供Phi轴转动条件下的毛细管实验,安装简单快速,可适应多种管径毛细样品管,可在部件位置固定的条件下在设备舱内直接更换毛细样品管,更换样品后部件位置几乎无需再次校准。

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