公开(公告)号：CN106165055B

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201480077921.6

申请日：2014-03-10

申请人： 牛津仪器纳米技术工具有限公司

发明人： 弗兰克·维利·鲍尔

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/295 ,  H01J37/305 ,  G01N23/20

CPC分类号： G01N23/20058 ,  G01N23/20025 ,  G01N23/203 ,  G01N23/2055 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/2955 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/2544 ,  H01J2237/31749

摘要： 本发明提供一种用于在显微镜的真空腔体中对样品进行电子衍射图案分析的方法。首先，使用聚焦粒子束从试样的一部分中隔离出样品。然后，将操纵器端部执行器附接至样品，以在端部执行器与样品之间实现预定取向。在样品被分离的情况下，操纵器端部执行器相对于电子束和衍射图案成像设备围绕旋转轴线旋转，以使样品形成为预定几何关系，使得能够在样品仍然被固定在操纵器端部执行器上的同时从样品中得到电子衍射图案。使电子束撞击到附接在操纵器端部执行器上的样品，从而得到电子衍射图案。

公开(公告)号：CN106165055A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201480077921.6

申请日：2014-03-10

申请人： 牛津仪器纳米技术工具有限公司

发明人： 弗兰克·维利·鲍尔

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/295 ,  H01J37/305 ,  G01N23/20

CPC分类号： G01N23/20058 ,  G01N23/20025 ,  G01N23/203 ,  G01N23/2055 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/2955 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/2544 ,  H01J2237/31749

摘要： 本发明提供一种用于在显微镜的真空腔体中对样品进行电子衍射图案分析的方法。首先，使用聚焦粒子束从试样的一部分中隔离出样品。然后，将操纵器端部执行器附接至样品，以在端部执行器与样品之间实现预定取向。在样品被分离的情况下，操纵器端部执行器相对于电子束和衍射图案成像设备围绕旋转轴线旋转，以使样品形成为预定几何关系，使得能够在样品仍然被固定在操纵器端部执行器上的同时从样品中得到电子衍射图案。使电子束撞击到附接在操纵器端部执行器上的样品，从而得到电子衍射图案。