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公开(公告)号：CN107408485B
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201680013667.2
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本发明揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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公开(公告)号：CN108027500A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680051258.1
申请日：2016-09-19
申请人： 科磊股份有限公司
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/24465 , H01J2237/2804
摘要： 本发明揭示具有暗场成像能力的多射束扫描电子显微镜SEM检验系统。SEM检验系统可包含电子源及至少一个光学装置。所述至少一个光学装置可经配置以利用由所述电子源提供的电子而产生多个初级子射束且朝向目标递送所述多个初级子射束。设备还可包含检测器阵列，所述检测器阵列经配置以接收由所述目标响应于所述多个初级子射束而发射的多个图像子射束且产生所述目标的至少一个暗场图像。
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公开(公告)号：CN111261481B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202010097548.8
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本申请实施例是关于用于带电粒子显微镜的方法及系统。本申请的一实施例揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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公开(公告)号：CN111261481A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010097548.8
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本申请实施例是关于用于带电粒子显微镜的方法及系统。本申请的一实施例揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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公开(公告)号：CN108027501A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680052161.2
申请日：2016-09-19
申请人： 科磊股份有限公司
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/09 , H01J37/28 , H01J2237/0216 , H01J2237/2817
摘要： 本发明揭示一种扫描电子显微镜系统。所述系统包含多束扫描电子显微镜SEM子系统。所述SEM子系统包含：多束电子束源，其经配置以产生多个电子束；样本载台，其经配置以固定样本；电子光学组合件；及检测器组合件，其经配置以检测从所述样本的表面发出的多个电子信号束以形成多个图像，每一图像与所述多个电子束中的电子束相关联。所述系统包含控制器，其经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；比较所述图像中的两个或更多个图像以识别在所述两个或更多个图像中存在的共同噪声分量；及从所述多个图像中的一或多个图像移除所述经识别的共同噪声分量。
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公开(公告)号：CN108027500B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN201680051258.1
申请日：2016-09-19
申请人： 科磊股份有限公司
摘要： 本发明揭示具有暗场成像能力的多射束扫描电子显微镜SEM检验系统。SEM检验系统可包含电子源及至少一个光学装置。所述至少一个光学装置可经配置以利用由所述电子源提供的电子而产生多个初级子射束且朝向目标递送所述多个初级子射束。设备还可包含检测器阵列，所述检测器阵列经配置以接收由所述目标响应于所述多个初级子射束而发射的多个图像子射束且产生所述目标的至少一个暗场图像。
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公开(公告)号：CN108027501B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201680052161.2
申请日：2016-09-19
申请人： 科磊股份有限公司
摘要： 本发明揭示一种扫描电子显微镜系统。所述系统包含多束扫描电子显微镜SEM子系统。所述SEM子系统包含：多束电子束源，其经配置以产生多个电子束；样本载台，其经配置以固定样本；电子光学组合件；及检测器组合件，其经配置以检测从所述样本的表面发出的多个电子信号束以形成多个图像，每一图像与所述多个电子束中的电子束相关联。所述系统包含控制器，其经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；比较所述图像中的两个或更多个图像以识别在所述两个或更多个图像中存在的共同噪声分量；及从所述多个图像中的一或多个图像移除所述经识别的共同噪声分量。
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公开(公告)号：CN108027499B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201680052662.0
申请日：2016-09-23
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： G02B21/20 , H01J37/317
摘要： 本发明揭示一种扫描式电子显微系统。所述系统包含多波束扫描式电子显微SEM子系统。所述SEM子系统包含：多波束电子源，其经配置以形成多个电子束；样品载物台，其经配置以固定样品；电子光学组合件，其将所述电子束引导到所述样品的部分上；及检测器组合件，其经配置以同时获取所述样品的表面的多个图像。所述系统包含控制器，所述控制器经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；通过分析图像的一或多个图像质量参数而识别所述图像的最好聚焦图像；及基于对应于所述经识别的最好聚焦图像的电子束的聚焦来引导所述多透镜阵列以调整一或多个电子束的聚焦。
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公开(公告)号：CN108604562A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780009352.5
申请日：2017-02-01
申请人： 科磊股份有限公司
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J2237/1207 , H01J2237/21 , H01J2237/2801 , H01J2237/2817
摘要： 揭示多光束电子束柱及使用此些多光束电子束柱的检验系统。根据本发明配置的多光束电子束柱可包含电子源及多透镜阵列，所述多透镜阵列经配置以利用由所述电子源提供的电子产生多个细光束。所述多透镜阵列可进一步经配置以移位所述多个细光束中的至少一个特定细光束的焦点，使得所述至少一个特定细光束的所述焦点与所述多个细光束中的至少一个其它细光束的焦点不同。
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