- 专利标题： 使用多射束工具的反向散射电子(BSE)成像
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申请号： CN201680051709.1申请日： 2016-09-21
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公开(公告)号： CN108028209B公开(公告)日： 2022-10-04
- 发明人: M·麦科德 , R·西蒙斯 , D·马斯纳盖蒂 , R·克尼彭迈耶
- 申请人： 科磊股份有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 张世俊
- 优先权： 62/222,351 20150923 US 15/245,765 20160824 US
- 国际申请： PCT/US2016/052766 2016.09.21
- 国际公布： WO2017/053353 EN 2017.03.30
- 进入国家日期： 2018-03-07
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66
摘要：
本发明揭示多射束扫描电子显微镜检验系统。多射束扫描电子显微镜检验系统可包含电子源及小射束控制机构。所述小射束控制机构可经配置以利用由所述电子源提供的电子而产生多个小射束且在某个时刻朝向目标递送所述多个小射束中的一者。所述多射束扫描电子显微镜检验系统还可包含检测器，其经配置以至少部分基于反向散射出所述目标的电子而产生所述目标的图像。
公开/授权文献
- CN108028209A 使用多射束工具的反向散射电子(BSE)成像 公开/授权日：2018-05-11
IPC分类:
