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公开(公告)号：CN111982953A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010883345.1
申请日：2015-10-27
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： G01N23/2252
摘要： 本申请涉及一种对在目标衬底上检测的缺陷进行自动化复检的方法和设备。所述方法包含：使用次级电子显微镜SEM执行所述缺陷的自动化复检以便获得所述缺陷的电子束图像；执行基于如根据所述电子束图像确定的所述缺陷的形态而将所述缺陷自动化分类成若干类型；选择特定类型的缺陷以用于自动化能量分散式x射线EDX复检；及对所述特定类型的所述缺陷执行所述自动化EDX复检。另外，揭示用于获得准确参考以便改善EDX结果的有用性的自动化技术。此外，揭示基于所述EDX结果将所述缺陷分类的自动化方法，所述自动化方法提供组合形态信息与元素信息两者的最终帕累托。还揭示其它实施例、方面及特征。
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公开(公告)号：CN107408485B
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201680013667.2
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本发明揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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公开(公告)号：CN107408485A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013667.2
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本发明揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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公开(公告)号：CN106796188A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580055501.2
申请日：2015-10-27
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： G01N23/225
CPC分类号： G01N23/2252 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/22 , H01J2237/2806 , H01J2237/2807 , H01J2237/2817 , G01N2223/079
摘要： 一个实施例涉及一种用于对在目标衬底上的有缺陷裸片中检测到的缺陷进行自动化复检的方法。所述方法包含：使用次级电子显微镜SEM执行所述缺陷的自动化复检以便获得所述缺陷的电子束图像；执行基于如根据所述电子束图像确定的所述缺陷的形态而将所述缺陷自动化分类成若干类型；选择特定类型的缺陷以用于自动化能量分散式x射线EDX复检；及对所述特定类型的所述缺陷执行所述自动化EDX复检。另外，揭示用于获得准确参考以便改善EDX结果的有用性的自动化技术。此外，揭示基于所述EDX结果将所述缺陷分类的自动化方法，所述自动化方法提供组合形态信息与元素信息两者的最终帕累托。还揭示其它实施例、方面及特征。
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公开(公告)号：CN111261481B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202010097548.8
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本申请实施例是关于用于带电粒子显微镜的方法及系统。本申请的一实施例揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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公开(公告)号：CN111261481A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010097548.8
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本申请实施例是关于用于带电粒子显微镜的方法及系统。本申请的一实施例揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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