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公开(公告)号：CN107408485A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201680013667.2
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本发明揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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公开(公告)号：CN107408485B
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201680013667.2
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本发明揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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公开(公告)号：CN111785602B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202010668841.5
申请日：2016-08-10
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/153
摘要： 本申请实施例是关于用于晶片边缘检验及复检的方法及系统。一种用于检验或复检样本的边缘部分的电子光学系统包含：电子束源，其经配置以产生一或多个电子束；样本载台，其经配置以固定所述样本；及电子光学柱，其包含经配置以将所述一或多个电子束的至少一部分引导到所述样本的边缘部分上的一组电子光学元件。所述系统还包含：样本位置参考装置，其围绕所述样本而安置；及保护环装置，其安置于所述样本的所述边缘与所述样本位置参考装置之间以补偿一或多个边际场。所述保护环装置的一或多个特性是可调整的。所述系统还包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测从所述样本的表面发出的电子。
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公开(公告)号：CN111785602A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN202010668841.5
申请日：2016-08-10
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/153
摘要： 本申请实施例是关于用于晶片边缘检验及复检的方法及系统。一种用于检验或复检样本的边缘部分的电子光学系统包含：电子束源，其经配置以产生一或多个电子束；样本载台，其经配置以固定所述样本；及电子光学柱，其包含经配置以将所述一或多个电子束的至少一部分引导到所述样本的边缘部分上的一组电子光学元件。所述系统还包含：样本位置参考装置，其围绕所述样本而安置；及保护环装置，其安置于所述样本的所述边缘与所述样本位置参考装置之间以补偿一或多个边际场。所述保护环装置的一或多个特性是可调整的。所述系统还包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测从所述样本的表面发出的电子。
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公开(公告)号：CN111261481B
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202010097548.8
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本申请实施例是关于用于带电粒子显微镜的方法及系统。本申请的一实施例揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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公开(公告)号：CN108419448B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201680045818.2
申请日：2016-08-10
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/153
摘要： 一种用于检验或复检样本的边缘部分的电子光学系统包含：电子束源，其经配置以产生一或多个电子束；样本载台，其经配置以固定所述样本；及电子光学柱，其包含经配置以将所述一或多个电子束的至少一部分引导到所述样本的边缘部分上的一组电子光学元件。所述系统还包含：样本位置参考装置，其围绕所述样本而安置；及保护环装置，其安置于所述样本的所述边缘与所述样本位置参考装置之间以补偿一或多个边际场。所述保护环装置的一或多个特性是可调整的。所述系统还包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测从所述样本的表面发出的电子。
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公开(公告)号：CN111261481A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010097548.8
申请日：2016-03-24
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , G01Q30/02 , G01Q30/04
摘要： 本申请实施例是关于用于带电粒子显微镜的方法及系统。本申请的一实施例揭示一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。所述系统包含经配置以产生电子束的电子束源及将所述电子束的至少一部分引导到样本的部分上的一组电光元件。所述系统包含发射率分析器组合件。所述系统包含经配置以将由所述样本的表面发射的至少一部分次级电子及/或反向散射电子引导到所述发射率分析器组合件的分光器元件。所述发射率分析器组合件经配置以对所述次级电子及/或所述反向散射电子中的至少一者进行成像。
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公开(公告)号：CN108419448A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201680045818.2
申请日：2016-08-10
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： H01J37/153
摘要： 一种用于检验或复检样本的边缘部分的电子光学系统包含：电子束源，其经配置以产生一或多个电子束；样本载台，其经配置以固定所述样本；及电子光学柱，其包含经配置以将所述一或多个电子束的至少一部分引导到所述样本的边缘部分上的一组电子光学元件。所述系统还包含：样本位置参考装置，其围绕所述样本而安置；及保护环装置，其安置于所述样本的所述边缘与所述样本位置参考装置之间以补偿一或多个边际场。所述保护环装置的一或多个特性是可调整的。所述系统还包含检测器组合件，所述检测器组合件经配置以检测从所述样本的表面发出的电子。
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