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公开(公告)号：CN108027501A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680052161.2
申请日：2016-09-19
申请人： 科磊股份有限公司
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/09 , H01J37/28 , H01J2237/0216 , H01J2237/2817
摘要： 本发明揭示一种扫描电子显微镜系统。所述系统包含多束扫描电子显微镜SEM子系统。所述SEM子系统包含：多束电子束源，其经配置以产生多个电子束；样本载台，其经配置以固定样本；电子光学组合件；及检测器组合件，其经配置以检测从所述样本的表面发出的多个电子信号束以形成多个图像，每一图像与所述多个电子束中的电子束相关联。所述系统包含控制器，其经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；比较所述图像中的两个或更多个图像以识别在所述两个或更多个图像中存在的共同噪声分量；及从所述多个图像中的一或多个图像移除所述经识别的共同噪声分量。
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公开(公告)号：CN108027499A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680052662.0
申请日：2016-09-23
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： G02B21/20 , H01J37/317
摘要： 本发明揭示一种扫描式电子显微系统。所述系统包含多波束扫描式电子显微SEM子系统。所述SEM子系统包含：多波束电子源，其经配置以形成多个电子束；样品载物台，其经配置以固定样品；电子光学组合件，其将所述电子束引导到所述样品的部分上；及检测器组合件，其经配置以同时获取所述样品的表面的多个图像。所述系统包含控制器，所述控制器经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；通过分析图像的一或多个图像质量参数而识别所述图像的最好聚焦图像；及基于对应于所述经识别的最好聚焦图像的电子束的聚焦来引导所述多透镜阵列以调整一或多个电子束的聚焦。
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公开(公告)号：CN108027501B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201680052161.2
申请日：2016-09-19
申请人： 科磊股份有限公司
摘要： 本发明揭示一种扫描电子显微镜系统。所述系统包含多束扫描电子显微镜SEM子系统。所述SEM子系统包含：多束电子束源，其经配置以产生多个电子束；样本载台，其经配置以固定样本；电子光学组合件；及检测器组合件，其经配置以检测从所述样本的表面发出的多个电子信号束以形成多个图像，每一图像与所述多个电子束中的电子束相关联。所述系统包含控制器，其经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；比较所述图像中的两个或更多个图像以识别在所述两个或更多个图像中存在的共同噪声分量；及从所述多个图像中的一或多个图像移除所述经识别的共同噪声分量。
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公开(公告)号：CN108027499B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201680052662.0
申请日：2016-09-23
申请人： 科磊股份有限公司
IPC分类号： G02B21/20 , H01J37/317
摘要： 本发明揭示一种扫描式电子显微系统。所述系统包含多波束扫描式电子显微SEM子系统。所述SEM子系统包含：多波束电子源，其经配置以形成多个电子束；样品载物台，其经配置以固定样品；电子光学组合件，其将所述电子束引导到所述样品的部分上；及检测器组合件，其经配置以同时获取所述样品的表面的多个图像。所述系统包含控制器，所述控制器经配置以：从所述检测器组合件接收所述图像；通过分析图像的一或多个图像质量参数而识别所述图像的最好聚焦图像；及基于对应于所述经识别的最好聚焦图像的电子束的聚焦来引导所述多透镜阵列以调整一或多个电子束的聚焦。
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