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公开(公告)号：CN104681382B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201410718566.8
申请日：2014-12-02
申请人： FEI 公司
发明人： A.A.S.斯鲁伊特曼恩 , E.G.T.博世
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/225 , G01N2223/418 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/153 , H01J2237/221 , H01J2237/2441 , H01J2237/24495 , H01J2237/2804 , H01J2237/2813
摘要： 具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法，该方法包括下列步骤：使用检测器来拦截通量的至少一部分，以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij}，由此，集合{Ij}的基数是M>1；对每个图像Ij中的每个像素pi，确定累积信号强度Sij，因此产生信号强度的相关集合{Sij}；使用集合{Sij}计算下列值：每像素位置i的平均信号强度S；每像素位置i的S中的方差σ2S；将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图：表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图；表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。
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公开(公告)号：CN104681382A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410718566.8
申请日：2014-12-02
申请人： FEI公司
发明人： A.A.S.斯鲁伊特曼恩 , E.G.T.博世
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/225 , G01N2223/418 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/153 , H01J2237/221 , H01J2237/2441 , H01J2237/24495 , H01J2237/2804 , H01J2237/2813 , H01J37/22
摘要： 具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法，该方法包括下列步骤：使用检测器来拦截通量的至少一部分，以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij}，由此，集合{Ij}的基数是M＞1；对每个图像Ij中的每个像素pi，确定累积信号强度Sij，因此产生信号强度的相关集合{Sij}；使用集合{Sij}计算下列值：每像素位置i的平均信号强度S；每像素位置i的S中的方差σ2S；将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图：表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图；表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。
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公开(公告)号：CN104103480A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410132480.7
申请日：2014-04-03
申请人： FEI公司
发明人： J.J.L.穆德斯 , R.T.J.P.格尔特斯 , P.H.F.特罗姆佩纳亚斯 , E.G.T.博世
IPC分类号： H01J37/08
CPC分类号： C23C14/48 , G01N1/286 , G01N1/32 , H01J37/02 , H01J37/3053 , H01J37/3171 , H01J37/3178 , H01J2237/004 , H01J2237/006 , H01J2237/31732 , H01J2237/3174 , H01J2237/31742 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： 本发明涉及低能量离子铣削或沉积。样本必须在从晶片挖出所述样本之后被薄化，以形成具有例如20nm的厚度的薄片。这一般地通过在带电粒子设备中用离子进行溅射来完成。当将薄片铣削成这样的厚度时，问题是：薄片的一大部分由于离子的轰击而变成无定形的并且离子变得被注入样本中。本发明通过在GIS的毛细管（201）与样本（200）之间施加电压差并将离子或电子束（206）引导到气体喷射（207）来提供所述问题的解决方案。束从而使被加速至样本的气体电离，其中（当在样本与GIS之间使用低电压时）发生低能量铣削，并且因此几乎没有样本厚度变成无定形的。
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