公开(公告)号：CN102262997B

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201110122317.9

申请日：2011-05-12

Applicant: FEI公司

Inventor： P.C.蒂梅杰 ,  B.H.弗雷塔格 ,  S.拉扎尔

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  G01N23/04 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2804

Abstract: 本发明涉及同时电子检测。本发明提供用以检测穿过样品的电子的多个检测器。所述检测器优选地在电子穿过棱镜之后检测所述电子，其中所述棱镜根据电子的能量分离电子。随后由不同检测器检测处于不同能量范围内的电子，其中优选地至少其中一个检测器测量所述电子在穿过样品时所损失的能量。本发明的一个实施例提供对于核心损失电子的EELS，而且同时提供来自低损失电子的亮视场STEM信号。

公开(公告)号：CN102262997A

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN201110122317.9

申请日：2011-05-12

Applicant: FEI公司

Inventor： P.C.蒂梅杰 ,  B.H.弗雷塔格 ,  S.拉扎尔

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  G01N23/04 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2804

Abstract: 本发明涉及同时电子检测。本发明提供用以检测穿过样品的电子的多个检测器。所述检测器优选地在电子穿过棱镜之后检测所述电子，其中所述棱镜根据电子的能量分离电子。随后由不同检测器检测处于不同能量范围内的电子，其中优选地至少其中一个检测器测量所述电子在穿过样品时所损失的能量。本发明的一个实施例提供对于核心损失电子的EELS，而且同时提供来自低损失电子的亮视场STEM信号。