公开(公告)号：CN111566775B

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN201880085852.1

申请日：2018-03-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 菊池秀树 ,  古津忠夫 ,  斋藤浩一郎 ,  铃木秀和 ,  滑川亮史

IPC: H01J37/20

Abstract: 本发明的目的在于提供一种在由电子显微镜取得连续倾斜图像时更高速且高倍率地拍摄图像的技术。在本发明的电子显微镜中，具备固定于电子显微镜的镜体并相对于试样支架的前端所具备的球形支点滑动的第一球面承载件、设于镜体的球面部、以及设于镜体的外部的第二球面承载件，在球面部与第二球面承载件的接触部，球面部和第二球面承载件滑动，该滑动的轨道沿以第一球面承载件的中心轴为中心的球面设置，从而能够减少试样距观察位置的错开、焦点偏离。

公开(公告)号：CN104520964A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201380041012.2

申请日：2013-06-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 菊池秀树 ,  上田浩大 ,  斋藤浩一郎

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/185 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/204

Abstract: 本发明的目的在于减少因密封保持为真空的试样室与大气的O型圈的变形而产生的试样的漂动。一种试样支架(2)插入镜体(1)的电子显微镜，其特征在于，具备试样移动装置，该试样移动装置具备：气密上述电子显微镜的镜体(1)与上述试样支架(2)的O型圈(4)；在上述试样支架(2)的长边方向上滑动并在长边方向上对试样支架进行定位的滑筒(30)；气密上述滑筒(30)与镜体(1)的波纹管(32)；在试样支架(2)的长边方向上驱动滑筒(30)的单元(10)；以及在长边方向上对试样支架(2)进行定位的抵接部件(40)，并且具备连接上述抵接部件(40)与上述滑筒(30)的弹性体(31)。

公开(公告)号：CN111566775A

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN201880085852.1

申请日：2018-03-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 菊池秀树 ,  古津忠夫 ,  斋藤浩一郎 ,  铃木秀和 ,  滑川亮史

IPC: H01J37/20

Abstract: 本发明的目的在于提供一种在由电子显微镜取得连续倾斜图像时更高速且高倍率地拍摄图像的技术。在本发明的电子显微镜中，具备固定于电子显微镜的镜体并相对于试样支架的前端所具备的球形支点滑动的第一球面承载件、设于镜体的球面部、以及设于镜体的外部的第二球面承载件，在球面部与第二球面承载件的接触部，球面部和第二球面承载件滑动，该滑动的轨道沿以第一球面承载件的中心轴为中心的球面设置，从而能够减少试样距观察位置的错开、焦点偏离。

公开(公告)号：CN300684585D

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200630134749.1

申请日：2006-08-10

Applicant: 株式会社日立高新技术

Designer： 大沼满 ,  中村邦康 ,  斋藤浩一郎 ,  桥本隆仁 ,  稻田博实

Abstract: 本产品是通过物镜、磁场镜和投影收缩电子束，提供试样的放大图