-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103703537B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201280035812.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/263 , G01N23/2206 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0492 , H01J2237/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/221 , H01J2237/225 , H01J2237/226 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。
-
公开(公告)号：CN103703537A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201280035812.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/263 , G01N23/2206 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0455 , H01J2237/0492 , H01J2237/153 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/221 , H01J2237/225 , H01J2237/226 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。
-
公开(公告)号：CN103843104B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201280039808.X
申请日：2012-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/065 , H01J2237/0206 , H01J2237/0213 , H01J2237/026 , H01J2237/045 , H01J2237/06316
Abstract: 本发明提供一种电子枪以及带电粒子束装置。减少由设于电子枪中的引出电极的光阑所产生的二次电子的量来抑制闪光的产生。若对电子枪中的最接近于电子源(1)的引出电极(5)的光阑(7A)涂敷碳等二次电子发射率小的薄膜，则能够减少二次电子的产生量。因为成为闪光的产生原因的由引出电极(5)所产生的二次电子减少，所以结果闪光减少。此外，通过在引出电极(5)组装2枚光阑(7A、7B)，并对该2枚光阑赋予成为与引出电极(5)相等电位的电位，从而能够消除从引出电极(5)的下部向上部渗出的电场。其结果，当电子束与引出电极(5)发生碰撞时所产生的二次电子不会受到从引出电极(5)通过的方向上的力，其结果闪光减少。
-
公开(公告)号：CN103843104A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280039808.X
申请日：2012-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/073 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/065 , H01J2237/0206 , H01J2237/0213 , H01J2237/026 , H01J2237/045 , H01J2237/06316
Abstract: 本发明提供一种电子枪以及带电粒子束装置。减少由设于电子枪中的引出电极的光阑所产生的二次电子的量来抑制闪光的产生。若对电子枪中的最接近于电子源(1)的引出电极(5)的光阑(7A)涂敷碳等二次电子发射率小的薄膜，则能够减少二次电子的产生量。因为成为闪光的产生原因的由引出电极(5)所产生的二次电子减少，所以结果闪光减少。此外，通过在引出电极(5)组装2枚光阑(7A、7B)，并对该2枚光阑赋予成为与引出电极(5)相等电位的电位，从而能够消除从引出电极(5)的下部向上部渗出的电场。其结果，当电子束与引出电极(5)发生碰撞时所产生的二次电子不会受到从引出电极(5)通过的方向上的力，其结果闪光减少。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.019 seconds)
