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公开(公告)号：CN104584182A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201380043429.2
申请日：2013-08-09
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/063 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/28 , H01J2237/2801
摘要： 在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中，闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率，与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且，闪烁器(7)由用组成式(Ln1－xCex)3M5O12表示的Y－Al－O系陶瓷烧结体形成，其中，Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素，M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。
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公开(公告)号：CN108885961B
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201680084076.4
申请日：2016-03-29
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/073
摘要： 为了提供一种能够迅速且容易地进行环形照明、广域照射、希望的干涉模式与正常照明之间的切换或者得到良好的S/N的电子显微镜，具有：光电阴极(101)，其使用负的电子亲和力；激发光学系统，其用于激发光电阴极；以及电子光学系统，其通过经由激发光学系统照射的激发光(12)将从光电阴极产生的电子束(13)照射到试样上，激发光学系统包括激发光的光源装置(107)和光调制单元(108)，该光调制单元(108)配置在激发光的光路中并对激发光进行空间相位调制。
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公开(公告)号：CN103907004A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
摘要： 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN108885961A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201680084076.4
申请日：2016-03-29
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/073
摘要： 为了提供一种能够迅速且容易地进行环形照明、广域照射、希望的干涉模式与正常照明之间的切换或者得到良好的S/N的电子显微镜，具有：光电阴极(101)，其使用负的电子亲和力；激发光学系统，其用于激发光电阴极；以及电子光学系统，其通过经由激发光学系统照射的激发光(12)将从光电阴极产生的电子束(13)照射到试样上，激发光学系统包括激发光的光源装置(107)和光调制单元(108)，该光调制单元(108)配置在激发光的光路中并对激发光进行空间相位调制。
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公开(公告)号：CN104584182B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201380043429.2
申请日：2013-08-09
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/063 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/28 , H01J2237/2801
摘要： 在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中，闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率，与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且，闪烁器(7)由用组成式(Ln1－xCex)3M5O12表示的Y－Al－O系陶瓷烧结体形成，其中，Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素，M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。
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公开(公告)号：CN103907004B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
摘要： 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN103843104B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201280039808.X
申请日：2012-05-22
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/09
CPC分类号： H01J37/065 , H01J2237/0206 , H01J2237/0213 , H01J2237/026 , H01J2237/045 , H01J2237/06316
摘要： 本发明提供一种电子枪以及带电粒子束装置。减少由设于电子枪中的引出电极的光阑所产生的二次电子的量来抑制闪光的产生。若对电子枪中的最接近于电子源(1)的引出电极(5)的光阑(7A)涂敷碳等二次电子发射率小的薄膜，则能够减少二次电子的产生量。因为成为闪光的产生原因的由引出电极(5)所产生的二次电子减少，所以结果闪光减少。此外，通过在引出电极(5)组装2枚光阑(7A、7B)，并对该2枚光阑赋予成为与引出电极(5)相等电位的电位，从而能够消除从引出电极(5)的下部向上部渗出的电场。其结果，当电子束与引出电极(5)发生碰撞时所产生的二次电子不会受到从引出电极(5)通过的方向上的力，其结果闪光减少。
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公开(公告)号：CN103843104A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280039808.X
申请日：2012-05-22
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/09
CPC分类号： H01J37/065 , H01J2237/0206 , H01J2237/0213 , H01J2237/026 , H01J2237/045 , H01J2237/06316
摘要： 本发明提供一种电子枪以及带电粒子束装置。减少由设于电子枪中的引出电极的光阑所产生的二次电子的量来抑制闪光的产生。若对电子枪中的最接近于电子源(1)的引出电极(5)的光阑(7A)涂敷碳等二次电子发射率小的薄膜，则能够减少二次电子的产生量。因为成为闪光的产生原因的由引出电极(5)所产生的二次电子减少，所以结果闪光减少。此外，通过在引出电极(5)组装2枚光阑(7A、7B)，并对该2枚光阑赋予成为与引出电极(5)相等电位的电位，从而能够消除从引出电极(5)的下部向上部渗出的电场。其结果，当电子束与引出电极(5)发生碰撞时所产生的二次电子不会受到从引出电极(5)通过的方向上的力，其结果闪光减少。
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