公开(公告)号：CN108885961B

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201680084076.4

申请日：2016-03-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大岛卓 ,  峰邑浩行 ,  安斋由美子 ,  圆山百代 ,  小濑洋一 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/073

Abstract: 为了提供一种能够迅速且容易地进行环形照明、广域照射、希望的干涉模式与正常照明之间的切换或者得到良好的S/N的电子显微镜，具有：光电阴极(101)，其使用负的电子亲和力；激发光学系统，其用于激发光电阴极；以及电子光学系统，其通过经由激发光学系统照射的激发光(12)将从光电阴极产生的电子束(13)照射到试样上，激发光学系统包括激发光的光源装置(107)和光调制单元(108)，该光调制单元(108)配置在激发光的光路中并对激发光进行空间相位调制。

公开(公告)号：CN108885961A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201680084076.4

申请日：2016-03-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大岛卓 ,  峰邑浩行 ,  安斋由美子 ,  圆山百代 ,  小濑洋一 ,  扬村寿英

IPC: H01J37/073

Abstract: 为了提供一种能够迅速且容易地进行环形照明、广域照射、希望的干涉模式与正常照明之间的切换或者得到良好的S/N的电子显微镜，具有：光电阴极(101)，其使用负的电子亲和力；激发光学系统，其用于激发光电阴极；以及电子光学系统，其通过经由激发光学系统照射的激发光(12)将从光电阴极产生的电子束(13)照射到试样上，激发光学系统包括激发光的光源装置(107)和光调制单元(108)，该光调制单元(108)配置在激发光的光路中并对激发光进行空间相位调制。