公开(公告)号：CN104584182A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201380043429.2

申请日：2013-08-09

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 今村伸 ,  大岛卓 ,  小濑洋一 ,  平根贤一

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801

摘要： 在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中，闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率，与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且，闪烁器(7)由用组成式(Ln1－xCex)3M5O12表示的Y－Al－O系陶瓷烧结体形成，其中，Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素，M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。

公开(公告)号：CN104584182B

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201380043429.2

申请日：2013-08-09

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 今村伸 ,  大岛卓 ,  小濑洋一 ,  平根贤一

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801

摘要： 在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中，闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率，与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且，闪烁器(7)由用组成式(Ln1－xCex)3M5O12表示的Y－Al－O系陶瓷烧结体形成，其中，Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素，M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。