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公开(公告)号：CN106158567B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201610517840.4
申请日：2013-03-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
摘要： 本发明提供一种荷电粒子束装置、试样观察系统。该荷电粒子束装置具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。
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公开(公告)号：CN103733298B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280039452.X
申请日：2012-05-28
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
摘要： 近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
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公开(公告)号：CN103733298A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280039452.X
申请日：2012-05-28
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
摘要： 近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
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公开(公告)号：CN103210467A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201180054529.6
申请日：2011-11-21
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/305 , G01N1/28 , G01N1/36 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/3053 , H01J37/20 , H01J2237/2001 , H01J2237/20207 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745
摘要： 提供一种离子铣削装置以及离子铣削加工方法，通过使试料(3)相对于离子束(2)的光轴(Z轴)倾斜振动，重复进行在如下两状态间的试料(3)的加工面(3a)的倾斜以及倾斜复位，由此，离子束(2)低角度照射向加工面(3a)，抑制因空穴(61)、异种物质(62)产生的凹凸(63)，其中一状态是试料(3)的加工面(3a)朝向倾斜轴方向(Y轴向)的面状态，其二是从该面状态，加工面(3a)的试料台侧部分相比加工面(3a)的掩膜侧部分更向倾斜轴方向(Y轴向)突出的倾斜面状态。由此，在剖面试料制作时，可以抑制因空穴、异种物质产生的凹凸，可以制作适于观察/分析的试料剖面。
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公开(公告)号：CN103210467B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201180054529.6
申请日：2011-11-21
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： H01J37/305 , G01N1/28 , G01N1/36 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/3053 , H01J37/20 , H01J2237/2001 , H01J2237/20207 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745
摘要： 提供一种离子铣削装置以及离子铣削加工方法，通过使试料(3)相对于离子束(2)的光轴(Z轴)倾斜振动，重复进行在如下两状态间的试料(3)的加工面(3a)的倾斜以及倾斜复位，由此，离子束(2)低角度照射向加工面(3a)，抑制因空穴(61)、异种物质(62)产生的凹凸(63)，其中一状态是试料(3)的加工面(3a)朝向倾斜轴方向(Y轴向)的面状态，其二是从该面状态，加工面(3a)的试料台侧部分相比加工面(3a)的掩膜侧部分更向倾斜轴方向(Y轴向)突出的倾斜面状态。由此，在剖面试料制作时，可以抑制因空穴、异种物质产生的凹凸，可以制作适于观察/分析的试料剖面。
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公开(公告)号：CN106158567A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610517840.4
申请日：2013-03-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
摘要： 本发明提供一种荷电粒子束装置、试样观察系统。该荷电粒子束装置具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。
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公开(公告)号：CN103907004A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
摘要： 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN103907004B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
摘要： 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN104137219B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201380011581.2
申请日：2013-03-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
摘要： 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
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公开(公告)号：CN104137219A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380011581.2
申请日：2013-03-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
摘要： 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
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