-
公开(公告)号：CN106537552A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201680001828.6
申请日：2016-03-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/16 , H01J37/248
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/248 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/2813
Abstract: 本发明的目的在于提供小型、高性能且容易搬送的带电粒子射线装置。本发明所涉及的带电粒子射线装置具备可装卸的主体单元和辅助单元，所述主体单元收容与带电粒子射线相关的功能部，所述辅助单元收容电源部(参照图1)。
-
公开(公告)号：CN103733298B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280039452.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
Abstract: 近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
-
公开(公告)号：CN103733298A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201280039452.X
申请日：2012-05-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21
Abstract: 近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103348437B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201180065868.4
申请日：2011-12-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/1478 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J2237/1536 , H01J2237/20207 , H01J2237/2611
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其在连续地修正焦点的同时观察对试样照射倾斜束而取得的倾斜像或左右视差角像时，能够抑制产生的视野偏移。通过在使一次带电粒子束聚焦在试样（10）表面的物镜（7）和使一次带电粒子束倾斜的倾斜角控制用偏转器（53）之间设置的视野修正用对准器（54），以根据倾斜角控制用偏转器（53）的倾斜角、透镜条件、物镜（7）和试样（10）的距离而求出的修正量，与物镜（7）的焦点修正联动地抑制一次带电粒子束的倾斜时产生的视野偏移。
-
公开(公告)号：CN106537552B
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201680001828.6
申请日：2016-03-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/16 , H01J37/248
Abstract: 本发明的目的在于提供小型、高性能且容易搬送的带电粒子射线装置。本发明所涉及的带电粒子射线装置具备可装卸的主体单元和辅助单元，所述主体单元收容与带电粒子射线相关的功能部，所述辅助单元收容电源部(参照图1)。
-
公开(公告)号：CN103348437A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201180065868.4
申请日：2011-12-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/1478 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J2237/1536 , H01J2237/20207 , H01J2237/2611
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其在连续地修正焦点的同时观察对试样照射倾斜束而取得的倾斜像或左右视差角像时，能够抑制产生的视野偏移。通过在使一次带电粒子束聚焦在试样（10）表面的物镜（7）和使一次带电粒子束倾斜的倾斜角控制用偏转器（53）之间设置的视野修正用对准器（54），以根据倾斜角控制用偏转器（53）的倾斜角、透镜条件、物镜（7）和试样（10）的距离而求出的修正量，与物镜（7）的焦点修正联动地抑制一次带电粒子束的倾斜时产生的视野偏移。
-
公开(公告)号：CN103999186B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280057813.3
申请日：2012-11-12
Applicant: 株式会社日立高新技术 , 东陶机器株式会社
IPC: H01J37/252 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/023 , H01J37/252 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24415 , H01J2237/24475
Abstract: 为了提供能在进行X射线元素分析的预备阶段评价、判别适于X射线分析的样本上的位置、分析者能无返工、短时间地进行确保了高可靠性的分析的带电粒子线装置，在具备X射线检测器的带电粒子线装置中，在与X射线检测器(12(25～30))的X射线检测面同轴上，与X射线检测器(12)一体或独立地配置第1反射电子检测器(15)，同时或个别地由X射线检测器(12)检测X射线信号，由第1反射电子检测器(15)检测反射电子信号。
-
公开(公告)号：CN103999186A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201280057813.3
申请日：2012-11-12
Applicant: 株式会社日立高新技术 , 东陶机器株式会社
IPC: H01J37/252 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/023 , H01J37/252 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24415 , H01J2237/24475
Abstract: 为了提供能在进行X射线元素分析的预备阶段评价、判别适于X射线分析的样本上的位置、分析者能无返工、短时间地进行确保了高可靠性的分析的带电粒子线装置，在具备X射线检测器的带电粒子线装置中，在与X射线检测器(12(25～30))的X射线检测面同轴上，与X射线检测器(12)一体或独立地配置第1反射电子检测器(15)，同时或个别地由X射线检测器(12)检测X射线信号，由第1反射电子检测器(15)检测反射电子信号。
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
8
records
(took 0.037 seconds)
