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公开(公告)号：CN106463322B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201580026256.2
申请日：2015-05-22
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 一个实施例涉及一种双威恩过滤器单色器。第一威恩过滤器使电子束聚焦于第一平面中，同时使所述电子束在第二平面中平行。狭缝开口允许所述电子束的具有在能量范围内的能量的电子通过，同时阻挡所述电子束的具有在所述能量范围之外的能量的电子。第二威恩过滤器使所述电子束聚焦以变得在所述第一平面中平行，同时使所述电子束在所述第二平面中平行。还揭示其它实施例、方面及特征。
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公开(公告)号：CN105161393B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201510512550.6
申请日：2004-09-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 应用材料以色列公司
CPC classification number: H01J37/04 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/14 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/047 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/06 , H01J2237/14 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有：第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。
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公开(公告)号：CN104008943B
公开(公告)日：2018-02-16
申请号：CN201410066714.2
申请日：2014-02-26
Inventor： M.马佐斯
IPC: H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/10
CPC classification number: H01J37/07 , H01J3/026 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/10 , H01J37/1477 , H01J37/21 , H01J37/248 , H01J37/3056 , H01J37/3178 , H01J2237/0473 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/1518 , H01J2237/1534 , H01J2237/28 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明提供了一种带电粒子束系统，其中，聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压，该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下，减少了色差和库仑相互作用，这使斑点尺寸产生显著改进。
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公开(公告)号：CN104380427A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201380025282.4
申请日：2013-04-02
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/22 , H01J37/10 , H01J37/147
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/1534 , H01J37/22 , H01J37/10 , H01J37/147
Abstract: 一个实施例涉及一种用于高分辨率电子束成像的设备。所述设备包含经配置以限制入射电子束中的电子的能量扩散的能量过滤器。所述能量过滤器可使用消像散维恩(Wien)过滤器及过滤器孔口而形成。另一实施例涉及一种形成用于高分辨率电子束设备的入射电子束的方法。另一实施例涉及一种包含弯曲导电电极的消像散维恩过滤器。另一实施例涉及一种包含一对磁轭及多极偏转器的消像散维恩过滤器。本发明还揭示其它实施例、方面及特征。
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公开(公告)号：CN101896980B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN200880116751.2
申请日：2008-09-26
Applicant: 离子束应用股份有限公司
CPC classification number: H01J37/10 , A61L2/087 , A61L2202/122 , A61N5/1043 , A61N2005/1087 , G21K1/08 , G21K5/04 , G21K5/10 , H01J37/147 , H01J37/1474 , H01J37/3002 , H01J37/3005 , H01J37/304 , H01J37/3045 , H01J37/317 , H01J2237/103 , H01J2237/12 , H01J2237/14 , H01J2237/2602 , H01J2237/30 , H01J2237/31701 , H05G2/00
Abstract: 本发明涉及一种用于传输带电粒子束的设备(10)。该设备包括：用于在靶(3)上扫描带电粒子束的装置(12)、被布置在用于扫描的装置上游的偶极磁体(15)、布置在偶极磁体与用于扫描的装置之间的至少三个四极透镜(17)和用于根据带电粒子束的扫描角来调整所述至少三个四极透镜的场强度的装置。可以使所述设备至少单消色差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102709143A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210111707.0
申请日：2004-09-07
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/153 , H01J37/09 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/317 , B82Y10/00
CPC classification number: H01J37/04 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/14 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/047 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/06 , H01J2237/14 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有：第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。
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公开(公告)号：CN1820347A
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：CN200480019446.3
申请日：2004-05-26
Applicant: 成像科学仪器公司
Inventor： 泰伊·特拉维斯·格里布
IPC: H01J37/285 , G01N25/00
CPC classification number: H01J37/285 , B82Y15/00 , H01J37/05 , H01J37/10 , H01J2237/024 , H01J2237/0492 , H01J2237/053 , H01J2237/244
Abstract: 一种原子探针包括处于其本地电极以及其探测器之间的一个或多个中间电极，其中中间电极被充电到某个电势，使得它们过滤假离子并阻止它们到达探测器，和/或调节(聚焦)离子的飞行圆锥体以具有更窄或更宽的角度，从而调节原子探针所提供的图像的放大倍数和视场。优选配置在于同时提供过滤电极和聚焦电极，它们可相对于彼此活动并且可以套管式集成，以便某个范围的过滤和聚焦效应。
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公开(公告)号：CN105280464B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201510581543.1
申请日：2015-06-08
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/256 , H01J37/08 , H01J37/28 , H05H7/10 , H01J49/02
CPC classification number: H01J37/21 , H01J37/10 , H01J37/28 , H01J2237/0435 , H01J2237/0492 , H01J2237/28 , H01J2237/31764 , H01J2237/31774
Abstract: 一种操作多波束粒子光学单元的方法，包括：(1)提供粒子光学部件的效应的第一设定，其中粒子光学成像可通过至少两个参数来表征；(2)确定矩阵A；使得以下适用：，其中且，其中，表示在所述第一设定的情况下的部件的效应的改变，表示在所述第一设定的情况下的参数的改变；(3)确定矩阵S，使得以下适用：S·A＝DA，其中DA是对角矩阵；(4)限定表征期望的成像的参数的值；(5)提供所述部件的效应的第二设定，使得所述粒子光学成像由具有限定值的参数表征，其中所述第二设定所需的效应根据以下来确定：，其中且，其中，表示在所述第二设定的情况下部件的效应，并且表示所述参数的限定值。
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公开(公告)号：CN105280468B
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201510349298.1
申请日：2015-06-23
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
Inventor： 天野吉隆
IPC: H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/10 , H01J37/244 , H01J2237/038 , H01J2237/1202 , H01J2237/16
Abstract: 本发明提供一种能够广范围使用的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置具备：透镜电极单元(802)，其具备用于使离子束平行的多个电极；及真空单元(804)，将透镜电极单元(802)容纳于真空环境中。真空单元(804)具备：第1真空容器(806)，其具备第1导电性容器壁(814)；第2真空容器(808)，其具备第2导电性容器壁(816)；及绝缘性容器壁(810)，将第1真空容器(806)与第2真空容器(808)彼此连通，且使第1导电性容器壁(814)与第2导电性容器壁(816)绝缘。设有使透镜电极单元802的多个电极中的至少1个电极与第1导电性容器壁(814)及第2导电性容器壁(816)中的至少一方绝缘的绝缘部件(828)，绝缘部件(828)与透镜电极单元(802)一起容纳于真空环境中。
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公开(公告)号：CN105372944A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201410829755.2
申请日：2014-12-26
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: G03F7/20
CPC classification number: H01J37/3177 , H01J37/045 , H01J37/10 , H01J37/12 , H01J37/20 , H01J2237/0435 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明公开了用于带电粒子多束光刻系统的装置。该装置包括多个带电粒子双合透镜，每个双合透镜均具有第一孔径并且均配置为缩小入射在第一孔径上的细光束，从而产生缩小的细光束。该装置还包括多个带电粒子透镜，每个带电粒子透镜均与带电粒子双合透镜中的一个相关，每个带电粒子透镜均具有第二孔径，并且每个带电粒子透镜均配置为从相关的带电粒子双合透镜接受缩小的细光束并且实现以下两种状态中的一种：开启状态，其中允许缩小的细光束沿着期望的路径传输，以及关闭状态，其中阻止缩小的细光束沿着期望的路径传输。在实施例中，第一孔径大于第二孔径，从而改进带电粒子多束光刻系统中的粒子束效率。
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