-
公开(公告)号：CN106133609B
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201580015584.2
申请日：2015-02-27
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： M.帕特拉
CPC classification number: G03F7/70025 , G03F7/70566 , H01S3/0903 , H01S4/00 , H05G2/00 , H05H7/04
Abstract: 本发明涉及一种用于微光刻投射曝光设备的照明装置的EUV光源，其中EUV光源具有用于产生电子束的电子源(110)、用于加速电子束的加速器单元(120)以及用于通过偏转电子束来产生EUV光的波动器布置(100)，其中，波动器布置(100)具有：第一波动器(101)，用于产生具有第一偏振状态的EUV光；以及至少一个第二波动器(102)，用于产生具有第二偏振状态的EUV光，其中第二偏振状态与第一偏振状态不同，其中所述第二波动器(102)沿电子束的传播方向布置在所述第一波动器(101)的下游，其中波动器布置(100)构造成其具有第一操作模式和至少一个第二操作模式，在第一操作模式中，第一波动器(101)关于EUV光的产生处于饱和，在至少一个第二操作模式中，第一波动器(101)关于EUV光的产生不处于饱和。
-
公开(公告)号：CN105122420B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201480020460.9
申请日：2014-03-14
Applicant: 摩擦透视公司
CPC classification number: H05G2/00 , H01J35/06 , H01J35/08 , H01J35/18 , H01J2235/081 , H01J2235/186
Abstract: 一种x射线发射装置包括：经配置以维持低流体环境的外壳，所述外壳具有第一壁和第二壁，所述第一壁具有基本上能透x射线的窗，所述第二壁具有包括外部表面的部分，所述外部表面包括电绝缘材料；所述外壳内的电子靶；以及用于摩擦地接触所述电绝缘材料的接触材料，所述接触材料包括一种材料使得与所述电绝缘材料摩擦接触产生电荷不平衡。
-
公开(公告)号：CN104519652A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410504291.8
申请日：2014-09-26
Applicant: 英特尔公司
CPC classification number: H05G2/00
Abstract: 本发明涉及一种基于微磁的极紫外辐射源。实施例包含一种磁摇摆器，所述磁摇摆器包括：第一磁体和第二磁体，所述第一磁体和所述第二磁体在至少50个磁体的线路中彼此相邻；通路，所述通路与所述线路相邻，电子束可以沿着所述通路行进，所述通路耦合至粒子加速器；以及多个通孔，所述多个通孔在所述第一磁体和所述第二磁体中的每一个磁体的多个侧面上，以便分别向所述第一磁体和所述第二磁体提供具有相反方向的多个电流，以便定向具有相反的非易失性取向的所述第一磁体和所述第二磁体。本文提供了其它实施例。
-
公开(公告)号：CN103197896A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310001526.7
申请日：2013-01-04
Applicant: 诺信公司
CPC classification number: H05G2/00 , F21V23/007 , H01J9/42 , H01J9/50 , H01J65/044 , H05B41/24 , Y02B20/22 , Y02W30/828
Abstract: 本发明涉及一种具有数据记录和检索电路的微波激发紫外灯系统及其操作方法。数据记录和检索电路使用FIFO数据存储协议在高速缓存存储器中存储操作数据。高速缓存存储器的内容周期性地复制到更大的可移除的存储器，使得该可移除的存储器包含系统操作参数的较长的历史记录。数据记录和检索电路包括数据端口，该数据端口被配置为当设备耦合到该数据端口时将高速缓存存储器的内容加载到外部设备。第二数据端口允许外部设备向数据记录和检索电路供电，使得当内部电源失灵时可以检索数据。存储在可移除的存储器中的数据可以被保护使得它只能由经授权的人员访问。
-
公开(公告)号：CN1997256B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200510135933.2
申请日：2005-12-31
Applicant: 清华大学 , 同方威视技术股份有限公司
Abstract: 本发明涉及X射线源装置，具体涉及高能X射和低能X射线的输出装置。本发明公开的一种高低能X射线输出装置，包括：控制系统，用于控制电子枪电源、微波功率源，通过电子枪和加速装置产生电子束；或控制实现不同的高低能电子束产生的时序；电子枪电源，向电子枪提供电能；微波功率源，用于加速电子直线加速管产生的电子束的速度；电子直线加速管，分别与电子枪电源和微波功率源连接，用于产生高能电子束；高压电子枪电源，向高压电子枪提供电能；高压电子枪，与高压电子枪电源连接，用于产生低能电子束；辐射靶，用于接受电子束产生X射线。本发明应用于放射治疗及医学成像中，或应用于无损检测中。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1997256A
公开(公告)日：2007-07-11
申请号：CN200510135933.2
申请日：2005-12-31
Applicant: 清华大学 , 清华同方威视技术股份有限公司
Abstract: 本发明涉及X射线源装置，具体涉及高能X射和低能X射线的输出装置。本发明公开的一种高低能X射线输出装置，包括：控制系统，用于控制电子枪电源、微波功率源，通过电子枪和加速装置产生电子束；或控制实现不同的高低能电子束产生的时序；电子枪电源，向电子枪提供电能；微波功率源，用于加速电子直线加速管产生的电子束的速度；电子直线加速管，分别与电子枪电源和微波功率源连接，用于产生高能电子束；高压电子枪电源，向高压电子枪提供电能；高压电子枪，与高压电子枪电源连接，用于产生低能电子束；辐射靶，用于接受电子束产生X射线。本发明应用于放射治疗及医学成像中，或应用于无损检测中。
-
公开(公告)号：CN1256794C
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN99802793.6
申请日：1999-11-10
IPC: H01S3/081
Abstract: 由多个相对峙的凹面镜使激光发生多次反射，使其反射光路集中而形成光子密度高的反应空间，将气体、液体、固体、等离子体、粒子束、电子束之类的反应对象引入此反应空间，通过和激光的相互作用而引起光激励、光电离、光分解、光分离、光合成、光生成、光分析等的光反应。
-
公开(公告)号：CN1678163A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510059554.X
申请日：2005-03-29
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: H01S3/083 , H01S3/1109 , H05G2/00
Abstract: 本发明提供一种用于通过逆康普顿散射过程来产生X射线(22)的系统(10)。该系统包括适于在激光腔(20)中以第一方向(24)导引高能光脉冲(16)的高重复率激光器(12)和适于在激光腔中以与第一方向相反的第二方向(26)导引电子束(18)的脉冲电子束(18)的源(14)。电子束(18)在激光腔(20)中与光脉冲(16)中的光子相交互，以便以第二方向(26)产生X射线(22)。
-
公开(公告)号：CN1334748A
公开(公告)日：2002-02-06
申请号：CN99816178.0
申请日：1999-11-30
Applicant: 光电子有限公司
Inventor： M·丁斯默雷
CPC classification number: A61N5/1001 , H01J35/04 , H05G2/00 , H05H15/00
Abstract: 在X射线治疗系统中使用的一种组合式多级加速器(102)包括用来容纳施加－50kV电压的一个电子束枪的第一10kV加速级(150)。组合式多级加速器还包括与第一级串联放置的四个附加10KV级(112,114,116,118),整体上获得一个50KV加速器。每一级都设有屏蔽(190),以防杂散电子沿着漂移管的长度扩散。每一组合级内部的三重点是凹进的,以明显减少每一级内部发射的杂散电子。另外,通过在电路连接中用一个清空节点将电子束电流与电子束电流测量电路(200)隔离来测量X射线源的X射线发射探针的电子束电流,在这一清空节点上清空电路内的其他电流,并且让电子束电流流到电子束电流测量电路。
-
公开(公告)号：CN108348765A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680067794.0
申请日：2016-11-01
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： D·J·里格斯
IPC: A61N5/06
Abstract: 在LPP EUV系统中，在所生成的EUV能量中可能出现正弦振荡或不稳定性。这通过检测LPP EUV系统何时接近这样的不稳定性并通过移动LPP EUV系统的激光束调整LPP EUV系统来避免。通过确定所生成的EUV能量何时等于或高于初级阈值来完成检测。在固定时间段内完成通过移动激光束对LPP EUV系统的调整，直到后续生成的EUV能量低于初级阈值，直到后续的所生成的EUV能量在固定时间段内低于初级阈值，或者直到后续的所生成的EUV能量等于或低于次级阈值，次级阈值低于初级阈值。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
72
records
(took 0.015 seconds)
