Invention Publication
CN104519652A 基于微磁的极紫外辐射源
无效 - 驳回
- Patent Title: 基于微磁的极紫外辐射源
- Patent Title (English): Micromagnet based extreme ultra-violet radiation source
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Application No.: CN201410504291.8Application Date: 2014-09-26
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Publication No.: CN104519652APublication Date: 2015-04-15
- Inventor: D·E·尼科诺夫 , I·A·扬
- Applicant: 英特尔公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚
- Assignee: 英特尔公司
- Current Assignee: 英特尔公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚
- Agency: 永新专利商标代理有限公司
- Agent 陈松涛; 王英
- Priority: 14/039,603 2013.09.27 US
- Main IPC: H05G2/00
- IPC: H05G2/00 ; G03F7/20

Abstract:
本发明涉及一种基于微磁的极紫外辐射源。实施例包含一种磁摇摆器,所述磁摇摆器包括:第一磁体和第二磁体,所述第一磁体和所述第二磁体在至少50个磁体的线路中彼此相邻;通路,所述通路与所述线路相邻,电子束可以沿着所述通路行进,所述通路耦合至粒子加速器;以及多个通孔,所述多个通孔在所述第一磁体和所述第二磁体中的每一个磁体的多个侧面上,以便分别向所述第一磁体和所述第二磁体提供具有相反方向的多个电流,以便定向具有相反的非易失性取向的所述第一磁体和所述第二磁体。本文提供了其它实施例。
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