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公开(公告)号：CN103477415B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201280017689.8
申请日：2012-03-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/16 , H01J2237/164 , H01J2237/1825 , H01J2237/2007 , H01J2237/2608
Abstract: 提供一种带电粒子束装置乃至带电粒子显微镜，其不很大地改变现有的高真空带电粒子显微镜的结构，就能够在大气气氛或气体气氛下观察观察试样。在采用划分真空气氛和大气气氛（或气体气氛）的薄膜（10）的结构的带电粒子束装置中，能够保持上述薄膜（10），并且将能够将内部维持为大气气氛或气体气氛的配件（121）插入到高真空型带电粒子显微镜的真空室（7）中来使用。该配件（121）被真空密封地固定在上述真空试样室的真空隔壁上。通过用氦气、氢气或水蒸汽这样的质量比大气气体轻的轻元素气体置换配件内部，来进一步提高画质。
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公开(公告)号：CN103782364A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201280041170.3
申请日：2012-07-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/202 , H01J2237/2445 , H01J2237/2608
Abstract: 本发明提供一种带电粒子线装置，其通过使用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察试样（6）。该带电粒子线装置具备：真空排气泵（4），其对第一机箱（7）进行排气；检测器（3），其在第一机箱（7）内检测由照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少第一机箱（7）或第二机箱（8）的任一部分、或不同体，对第一机箱（7）内与第二机箱（8）内之间的至少一部分进行分隔；开口部（10a），其设在隔壁部上，带电粒子照射部侧的开口面积比试样（6）侧的开口面积大；以及薄膜（13），其覆盖开口部（10a）的试样（6）侧，使一次带电粒子线及带电粒子线透过或通过。
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公开(公告)号：CN102308357A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201080006680.8
申请日：2010-01-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/18 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明的扫描带电粒子束装置包括样品室(8)和检测器，上述检测器兼具如下功能：在上述样品室被控制为低真空(1Pa～3000Pa)时，对由气体闪烁的发光现象得到的具有图像信息的光(17)中的、至少从真空紫外区域到可见光区域的光进行检测；对由电子和气体分子的级联放大而得到的具有图像信息的离子电流(11、13)进行检测。由此，能够实现能够应对各种样品的观察的装置，而且，通过设计上述检测部的最佳结构，能够对得到的图像赋予附加价值，将该观察图像提供给多种领域的利用者。另外，通过与高真空用检测器一起使用上述检测器，能够与真空模式无关地向各领域的利用者提供图像。
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公开(公告)号：CN105917437A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201480073481.7
申请日：2014-12-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/18 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J2237/24455 , H01J2237/2448 , H01J2237/2608
Abstract: 本发明提供一种能够简便地进行样本内部和表面的观察的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在以下模式下动作：根据来自通过被照射透射了样本(6)的内部的透射带电粒子而发光的发光构件(500)的光的检测信号(512)生成透射带电粒子图像的透射带电粒子图像模式；根据因来自样本(6)的二次带电粒子(517)或反射带电粒子而产生的检测信号(518)生成二次带电粒子图像的二次带电粒子图像模式。
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公开(公告)号：CN104520967B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380041386.4
申请日：2013-07-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/2605
Abstract: 在现有的带电粒子线装置中，由于以在隔膜和试样接近的状态检测信号为前提，所以，不是适合在大气压或者与大气压几乎相等的压力的气体环境下观察如非常有凹凸的试样等的装置结构。因此，本发明提供一种带电粒子线装置，具备以将载置试样的空间与带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，使一次带电粒子线透过或通过的能装卸的隔膜的带电粒子线装置，其特征在于，检测由一次带电粒子线的照射而从试样放出的二次粒子的检测器配置于载置上述试样的空间内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103782364B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201280041170.3
申请日：2012-07-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/202 , H01J2237/2445 , H01J2237/2608
Abstract: 本发明提供一种带电粒子线装置，其通过使用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察试样（6）。该带电粒子线装置具备：真空排气泵（4），其对第一机箱（7）进行排气；检测器（3），其在第一机箱（7）内检测由照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少第一机箱（7）或第二机箱（8）的任一部分、或不同体，对第一机箱（7）内与第二机箱（8）内之间的至少一部分进行分隔；开口部（10a），其设在隔壁部上，带电粒子照射部侧的开口面积比试样（6）侧的开口面积大；以及薄膜（13），其覆盖开口部（10a）的试样（6）侧，使一次带电粒子线及带电粒子线透过或通过。
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公开(公告)号：CN103348437A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201180065868.4
申请日：2011-12-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/04 , H01J37/153
CPC classification number: H01J37/1478 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J2237/1536 , H01J2237/20207 , H01J2237/2611
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其在连续地修正焦点的同时观察对试样照射倾斜束而取得的倾斜像或左右视差角像时，能够抑制产生的视野偏移。通过在使一次带电粒子束聚焦在试样（10）表面的物镜（7）和使一次带电粒子束倾斜的倾斜角控制用偏转器（53）之间设置的视野修正用对准器（54），以根据倾斜角控制用偏转器（53）的倾斜角、透镜条件、物镜（7）和试样（10）的距离而求出的修正量，与物镜（7）的焦点修正联动地抑制一次带电粒子束的倾斜时产生的视野偏移。
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公开(公告)号：CN102473577A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080031156.6
申请日：2010-07-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , F16F15/04 , H01J37/16 , H01J2237/0216
Abstract: 本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。
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公开(公告)号：CN105144337B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201480013221.0
申请日：2014-01-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC classification number: G01N23/2251 , G01N23/2204 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2003 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/24455 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明的目的是解决在利用透射带电粒子的观察中试样的设置或取出费时的问题。带电粒子束装置(601)，其特征在于，具有：将一次带电粒子束向试样(6)照射的带电粒子光学镜筒；能够装拆地配置利用在上述试样(6)内部透射或散射而出的带电粒子发光的发光部件(500)或具有该发光部件(500)的试样台(600)的试样载台；以及检测上述发光部件的发光的检测器(503)。
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公开(公告)号：CN104798172B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201380060806.3
申请日：2013-11-26
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2003 , H01J2237/2004 , H01J2237/2006 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/20235 , H01J2237/2445 , H01J2237/24455 , H01J2237/24475 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。
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