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公开(公告)号：CN102473577B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201080031156.6
申请日：2010-07-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , F16F15/04 , H01J37/16 , H01J2237/0216
Abstract: 本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。
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公开(公告)号：CN105103262B
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201480019441.4
申请日：2014-03-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/026 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006
Abstract: 本发明的特征是在配置于非真空下的试料(6)与一次电子光学系统之间设有隔膜(10)的扫描电子显微镜中，具备过滤部件(200)，该过滤部件(200)至少在一次带电粒子束照射于试料的状态下配置在一次带电粒子束的路径上，使一次带电粒子束以及从试料得到的二次带电粒子透射或者通过，并且在隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽。由此，当在试料观察过程中隔膜损伤了的情况下，能够利用简单的结构没有时滞地防止因试料被吸入带电粒子光学镜筒内而产生的带电粒子光学系统、检测器的污染。
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公开(公告)号：CN104685602A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201380051004.6
申请日：2013-09-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/164 , H01J2237/2608
Abstract: 在进行大气压或与大气压大致同等压力的气体环境下的观察的带电粒子束装置中，将载置有试样的大气压空间与电子光学镜筒内部的真空空间隔离的隔膜由于使电子束透射因此非常薄，破损的可能性较高。更换隔膜时需要调整隔膜位置，在现有技术的方法中，无法容易地进行该隔膜位置的调整。在采用将真空环境与大气环境或气体环境分隔的薄膜的结构的带电粒子束装置中，具备：隔膜，其能够拆装，并以将载置有试样的空间的压力保持为比机箱内部的压力大的方式将载置有试样的空间隔离，并能够使一次带电粒子束透射或通过，以及可动部件，能够以保持载置有试样的空间的压力和机箱内部的压力的状态移动上述隔膜。
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公开(公告)号：CN104685602B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201380051004.6
申请日：2013-09-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/164 , H01J2237/2608
Abstract: 在进行大气压或与大气压大致同等压力的气体环境下的观察的带电粒子束装置中，将载置有试样的大气压空间与电子光学镜筒内部的真空空间隔离的隔膜由于使电子束透射因此非常薄，破损的可能性较高。更换隔膜时需要调整隔膜位置，在现有技术的方法中，无法容易地进行该隔膜位置的调整。在采用将真空环境与大气环境或气体环境分隔的薄膜的结构的带电粒子束装置中，具备：隔膜，其能够拆装，并以将载置有试样的空间的压力保持为比机箱内部的压力大的方式将载置有试样的空间隔离，并能够使一次带电粒子束透射或通过，以及可动部件，能够以保持载置有试样的空间的压力和机箱内部的压力的状态移动上述隔膜。
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公开(公告)号：CN104520967A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380041386.4
申请日：2013-07-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/2605
Abstract: 在现有的带电粒子线装置中，由于以在隔膜和试样接近的状态检测信号为前提，所以，不是适合在大气压或者与大气压几乎相等的压力的气体环境下观察如非常有凹凸的试样等的装置结构。因此，本发明提供一种带电粒子线装置，具备以将载置试样的空间与带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，使一次带电粒子线透过或通过的能装卸的隔膜的带电粒子线装置，其特征在于，检测由一次带电粒子线的照射而从试样放出的二次粒子的检测器配置于载置上述试样的空间内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105493224A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480044976.7
申请日：2014-03-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01M3/02 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/188 , H01J2237/2002 , H01J2237/2006 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2802
Abstract: 以往在更换隔膜时未充分考虑所需的成本、作业的便利性等，因此装置难以使用。在本发明中，通过隔离真空空间与大气压空间的隔膜(10)而将一次带电粒子线照射在放置于大气压空间的试样上的带电粒子线装置上所设置的隔膜安装部件(155)具有：安装TEM用膜片的隔膜设置部位；以及安装在带电粒子线装置的壳体上的壳体固定部位。并且，该隔膜设置部位具有对保持有隔膜(10)的基座(9)进行定位的定位结构(155a)。
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公开(公告)号：CN105103262A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480019441.4
申请日：2014-03-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/026 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0213 , H01J2237/022 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006
Abstract: 本发明的特征是在配置于非真空下的试料(6)与一次电子光学系统之间设有隔膜(10)的扫描电子显微镜中，具备过滤部件(200)，该过滤部件(200)至少在一次带电粒子束照射于试料的状态下配置在一次带电粒子束的路径上，使一次带电粒子束以及从试料得到的二次带电粒子透射或者通过，并且在隔膜破损了的情况下对飞散的飞散物的至少一部分进行遮蔽。由此，当在试料观察过程中隔膜损伤了的情况下，能够利用简单的结构没有时滞地防止因试料被吸入带电粒子光学镜筒内而产生的带电粒子光学系统、检测器的污染。
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公开(公告)号：CN105493224B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201480044976.7
申请日：2014-03-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01M3/02 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/188 , H01J2237/2002 , H01J2237/2006 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2802
Abstract: 以往在更换隔膜时未充分考虑所需的成本、作业的便利性等，因此装置难以使用。在本发明中，通过隔离真空空间与大气压空间的隔膜(10)而将一次带电粒子线照射在放置于大气压空间的试样上的带电粒子线装置上所设置的隔膜安装部件(155)具有：安装TEM用膜片的隔膜设置部位；以及安装在带电粒子线装置的壳体上的壳体固定部位。并且，该隔膜设置部位具有对保持有隔膜(10)的基座(9)进行定位的定位结构(155a)。
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公开(公告)号：CN104520967B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380041386.4
申请日：2013-07-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/2605
Abstract: 在现有的带电粒子线装置中，由于以在隔膜和试样接近的状态检测信号为前提，所以，不是适合在大气压或者与大气压几乎相等的压力的气体环境下观察如非常有凹凸的试样等的装置结构。因此，本发明提供一种带电粒子线装置，具备以将载置试样的空间与带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，使一次带电粒子线透过或通过的能装卸的隔膜的带电粒子线装置，其特征在于，检测由一次带电粒子线的照射而从试样放出的二次粒子的检测器配置于载置上述试样的空间内。
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公开(公告)号：CN104246965B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201380020619.2
申请日：2013-04-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0245 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/162 , H01J2237/164 , H01J2237/2003 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605
Abstract: 带电粒子束装置(1)具备带电粒子光学镜筒(10)、搭载带电粒子光学镜筒(10)的支承壳体(20)、以及插入到支承壳体(20)的内部的内插壳体(30)，第一光圈构件(15)配设在物镜的磁场的中心附近，第二光圈构件(31)配设为从外侧封堵设置于内插壳体(30)的上表面的开口部。并且，利用检测器(16)检测在一次带电粒子束(12)向配置于第二光圈构件(31)的下表面侧的试料(60)照射时放出的二次带电粒子。
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