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公开(公告)号：CN105934407A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201480072640.1
申请日：2014-11-12
申请人： 佩尔佩图斯研究与发展有限公司
CPC分类号： C01B32/168 , B01J19/087 , B01J19/126 , B01J2219/0809 , B01J2219/0818 , B01J2219/0824 , B01J2219/0879 , B01J2219/0894 , B01J2219/1206 , B08B6/00 , C01B32/19 , C01B32/194 , C01P2004/03 , C08K9/00 , C09C1/46 , C23C16/26 , C23C16/4417 , C23C16/509 , C23C16/511 , C23C16/513 , C23C16/517 , H01J37/023 , H01J37/32018 , H01J37/32192 , H01J37/32568 , H05H1/46 , H05H2001/4697 , H05H2001/485
摘要： 一种通过分解、解聚、剥离、净化、官能化、掺杂、修饰和/或修复粒子来处理所述粒子的方法，其中粒子在处理室经受等离子体处理，处理室包含在其中凸出的多个电极，以及其中等离子体由所述电极产生，所述电极在等离子体处理期间被移动以搅动粒子。
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公开(公告)号：CN101128909B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200680006079.2
申请日：2006-02-23
申请人： 电子线技术院株式会社
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/023 , H01J37/067
摘要： 本发明公开了一种用于微柱的壳体，其可以容易地对准和装配微柱，并提高微柱的稳定性。该壳体用于制造包括电子发射体、偏转器和透镜的微柱，该壳体包括：电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；保持器底座，在该保持器底座中插入所述电子发射体保持器；以及与所述保持器底座连接的柱底座，从而可以通过插入到塞孔中的螺栓或凹头固定螺钉在X轴和Y轴方向上在所述电子发射体保持器与所述保持器底座之间对所述电子发射体进行对准和固定。
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公开(公告)号：CN105934407B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201480072640.1
申请日：2014-11-12
申请人： 佩尔佩图斯研究与发展有限公司
IPC分类号： C01B32/156 , C01B32/19 , C01B32/194 , C01B32/196 , C01B32/168 , C01B32/17 , C01B32/174 , C09C1/46 , H05H1/46
CPC分类号： C01B32/168 , B01J19/087 , B01J19/126 , B01J2219/0809 , B01J2219/0818 , B01J2219/0824 , B01J2219/0879 , B01J2219/0894 , B01J2219/1206 , B08B6/00 , C01B32/19 , C01B32/194 , C01P2004/03 , C08K9/00 , C09C1/46 , C23C16/26 , C23C16/4417 , C23C16/509 , C23C16/511 , C23C16/513 , C23C16/517 , H01J37/023 , H01J37/32018 , H01J37/32192 , H01J37/32568 , H05H1/46 , H05H2001/4697 , H05H2001/485
摘要： 一种通过分解、解聚、剥离、净化、官能化、掺杂、修饰和/或修复粒子来处理所述粒子的方法，其中粒子在处理室经受等离子体处理，处理室包含在其中凸出的多个电极，以及其中等离子体由所述电极产生，所述电极在等离子体处理期间被移动以搅动粒子。
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公开(公告)号：CN105745577A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201480061165.8
申请日：2014-09-08
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
CPC分类号： H01J37/023 , B01J19/12 , G03F7/708 , G03F7/70825 , G03F7/70833 , G03F7/70891 , G03F7/709 , G03F7/70975 , H01J37/10 , H01J37/20 , H01J37/3007 , H01J37/3177
摘要： 本发明涉及一种用于使射束指向目标的投影透镜组件。该组件包括透镜支撑体(52)，其跨过平面(P)并具有连接区域(58)和侧边(56)。透镜支撑体被布置成用于沿着插入方向(X)与平面(P)平行地插入处理单元的载物架(42)中。投影透镜组件包括从连接区域发出的管线(60?64)，以及用于容纳上述管线的管线导向体(70?81)。该导向体包括第一导向部(72)，用于引导管线从连接区域，沿着平面到达超出侧边的外侧区域(B)。导向体还包括第二导向部(78)，用于将管线从外侧区域(B)朝向管线导向体的倾斜边(79)引导。
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公开(公告)号：CN105513932A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510643247.X
申请日：2015-10-08
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/023 , H01J37/153 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J2237/024 , H01J2237/1532 , H01J2237/1534 , H01J2237/2602 , H01J2237/2614
摘要： 当制备无孔相位板（HFPP）时，优选无特征薄膜应当高精度地放置在TEM的衍射平面或者其共轭平面中。本发明公开了用于精确地将薄膜放置于所述平面中的两个相关的实施例。第一实施例使用当TEM在成像模式中时薄膜的伦奇图，并且应当调节伦奇图的放大率使得在伦奇图中央的放大率是无限的。第二实施例利用当TEM在衍射模式中时由薄膜所散射的电子。当薄膜不与衍射平面重合时，由薄膜所散射的电子似乎起源于不同于零射束的穿越的另一个位置。这作为光晕被观察到。光晕的不存在是薄膜与衍射平面重合的证据。注意到，该方法在样本保持器中没有样本的情况下得以最佳地执行。
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公开(公告)号：CN103325651A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310089789.8
申请日：2013-03-20
申请人： FEI公司
CPC分类号： H01J37/3002 , B05B1/005 , B05B1/30 , F16K11/0716 , H01J37/02 , H01J37/023 , H01J37/16 , H01J2237/006 , H01J2237/317
摘要： 本发明公开了一种多种气体喷射系统。一种多位置阀被用于控制来自多个气体源的气流的目的地。在一个阀位，气体在引入样品真空室之前先流向隔离的真空系统，在其中可以调节流速和混合。在另一个阀位，预混合的气体从隔离的真空室流出并经过阀针流入样品真空室内。
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公开(公告)号：CN1868029A
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN200480030404.X
申请日：2004-10-15
申请人： 应用材料公司
发明人： 乔纳索·Y·斯莫恩斯 , 约翰·R·谢利 , 安德鲁·斯蒂芬·德瓦涅
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/08 , H01J27/024 , H01J37/023 , H01J37/3171 , H01J2237/032 , H01J2237/061
摘要： 本发明提供一种用于离子注入器的动态电极安装件，其中具有限定孔(34)的电极体部分的电极插入构件(21b)插入到电极支撑架。在一个实施例中，插入构件的第一动态对准销(29a)接合电极支撑架(21a)第一沟槽状动态对准表面，以在两个垂直方向上相对于电极支撑架对准第一对准销。另外，插入构件的第二动态对准销(29b)接合电极支撑架(43)的第二动态对准表面，以在旋转方向上相对于电极支撑架对准插入构件。插入构件的多个凸缘接合电极支撑架，以在对准位置保持插入构件并将电极插入构件电耦合到电极支撑架。定位于电极插入构件(21b)和电极支撑架(21a)之间的弹簧(61a)在相对于电极支撑架的对准和保持位置偏置电极插入构件。在另一个实施例中，电极支撑架具有对准销，插入构件具有对准槽。
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公开(公告)号：CN108987225A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810529805.3
申请日：2018-05-29
申请人： 住友重机械离子科技株式会社
IPC分类号： H01J37/317
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J27/024 , H01J37/023 , H01J37/05 , H01J37/1472
摘要： 本发明的课题在于提供一种离子注入装置，应对由于使用具有比较高的能量的离子束而有可能产生的核反应。本发明的离子注入装置(100)具备：离子源，构成为生成包含第1非放射性核种的离子的离子束；射束线，构成为支承由包含与第1非放射性核种不同的第2非放射性核种的固体材料形成的离子束被照射体(70)；及控制装置(50)，构成为运算通过第1非放射性核种与第2非放射性核种的核反应而产生的放射线的推断线量与放射性核种的推断生成量中的至少一个。
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公开(公告)号：CN108701576A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201680082561.8
申请日：2016-12-09
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： B·卡斯川普 , J·C·H·缪尔肯斯 , M·A·范登布林克 , 约瑟夫·帕卓斯·亨瑞克瑞·本叔普 , E·P·斯马克曼 , T·朱兹海妮娜 , C·A·维索尔伦
IPC分类号： H01J37/065 , H01J37/15
CPC分类号： H01J37/263 , H01J37/023 , H01J37/15 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0245 , H01J2237/2817
摘要： 本发明公开了一种电子束检查设备，该设备包括：多个电子束柱(600)，每个电子束柱配置成提供电子束且检测来自物体的散射电子或二次电子；和致动器系统(600，610)，其配置成使所述电子束柱中的一个或更多个相对于所述电子束柱中的另外的一个或更多个移动(640，630)。所述致动器系统可包括多个第一可移动结构，所述多个第一可移动结构与多个第二可移动结构至少部分地重叠，所述第一可移动结构和所述第二可移动结构支撑所述多个电子束柱。
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公开(公告)号：CN105745577B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201480061165.8
申请日：2014-09-08
申请人： 迈普尔平版印刷IP有限公司
CPC分类号： H01J37/023 , B01J19/12 , G03F7/708 , G03F7/70825 , G03F7/70833 , G03F7/70891 , G03F7/709 , G03F7/70975 , H01J37/10 , H01J37/20 , H01J37/3007 , H01J37/3177
摘要： 本发明涉及一种用于使射束指向目标的投影透镜组件。该组件包括透镜支撑体(52)，其跨过平面(P)并具有连接区域(58)和侧边(56)。透镜支撑体被布置成用于沿着插入方向(X)与平面(P)平行地插入处理单元的载物架(42)中。投影透镜组件包括从连接区域发出的管线(60‑64)，以及用于容纳上述管线的管线导向体(70‑81)。该导向体包括第一导向部(72)，用于引导管线从连接区域，沿着平面到达超出侧边的外侧区域(B)。导向体还包括第二导向部(78)，用于将管线从外侧区域(B)朝向管线导向体的倾斜边(79)引导。
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