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公开(公告)号：CN106272276A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201510245783.4
申请日：2015-05-14
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: B25H1/00
Abstract: 本文公开了一种微型工作台，该微型工作台使用压电元件以使得该微型工作台能被可靠地操作，即使在真空环境下。在要求高精度的粒子柱中，例如，微电子柱，所述微型工作台能够被用作具有微米级或纳米级精度的工作台，以校准所述柱的部件，或者用于移动试样等。
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公开(公告)号：CN1973350B
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN200580020391.2
申请日：2005-07-05
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/147
Abstract: 本发明提供了一种控制多微柱中的电子束的方法，其中具有电子发射器、透镜以及偏转器的单元微柱被排列在n×m矩阵中。电压被均等或者不同地施加给各个电子发射器或者吸引器。相同的控制电压或者不同电压被施加给各个吸引器的控制划分区域中的坐标区域从而偏转电子束。并不对应于吸引器的透镜层被共同或者单独控制以有效控制单元微柱的电子束。而且，提供了使用所述方法的多微柱。
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公开(公告)号：CN100583374C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200580029367.5
申请日：2005-09-01
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/26
Abstract: 本发明提供了一种使用微柱的便携式电子显微镜。该便携式电子显微镜包括：微柱；低真空泵；高真空泵；超高真空泵；第一腔，其用于容纳和固定所述微柱和待测样本，并通过上述多个泵形成真空；控制器；和用于容纳上述多个泵、所述腔和所述控制器的壳体。
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公开(公告)号：CN1973350A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200580020391.2
申请日：2005-07-05
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/147
Abstract: 提供了一种控制多微柱中的电子束的方法，其中具有电子发射器、透镜以及偏转器的单元微柱被排列在n×m矩阵中。电压被均等或者不同地施加给各个电子发射器或者吸引器。相同的控制电压或者不同电压被施加给各个吸引器的控制划分区域中的坐标区域从而偏转电子束。并不对应于吸引器的透镜层被共同或者单独控制以有效控制单元微柱的电子束。而且，提供了使用所述方法的多微柱。
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公开(公告)号：CN106272276B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201510245783.4
申请日：2015-05-14
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: B25H1/00
Abstract: 本文公开了一种微型工作台，该微型工作台使用压电元件以使得该微型工作台能被可靠地操作，即使在真空环境下。在要求高精度的粒子柱中，例如，微电子柱，所述微型工作台能够被用作具有微米级或纳米级精度的工作台，以校准所述柱的部件，或者用于移动试样等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101128909B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200680006079.2
申请日：2006-02-23
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/023 , H01J37/067
Abstract: 本发明公开了一种用于微柱的壳体，其可以容易地对准和装配微柱，并提高微柱的稳定性。该壳体用于制造包括电子发射体、偏转器和透镜的微柱，该壳体包括：电子发射体保持器，在该电子发射体保持器中插入所述电子发射体；保持器底座，在该保持器底座中插入所述电子发射体保持器；以及与所述保持器底座连接的柱底座，从而可以通过插入到塞孔中的螺栓或凹头固定螺钉在X轴和Y轴方向上在所述电子发射体保持器与所述保持器底座之间对所述电子发射体进行对准和固定。
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公开(公告)号：CN100587521C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200680019662.7
申请日：2006-05-29
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: G02B3/00
CPC classification number: H01J3/18 , H01J3/26 , H01J37/12 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明提供一种具有简单结构的微柱。本发明涉及一种包括电子发射源和透镜的电子柱，更具体地涉及一种具有可便于对准和组装电子发射源和透镜的结构的电子柱。根据本发明的具有电子发射源和透镜单元的电子柱的特征在于：所述透镜单元包括两个以上的透镜层，并执行源透镜功能和聚焦功能。此外，所述电子柱的特征在于：所述透镜单元包括一个以上的偏转器型透镜层，从而附加地执行偏转器功能。
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公开(公告)号：CN100573801C
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200580029412.7
申请日：2005-09-01
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/04
CPC classification number: H01J37/04 , G11B7/261 , H01J2237/0245 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/1503 , H01J2237/2817 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明提供了一种用于电子柱的运动设备，该运动设备提供了发射电子束的电子柱与其上照射电子束的样本之间的相对运动。该运动设备包括：用于将电子束发射到样本上的多微柱；用于支撑该多微柱的支架；以及用于驱动该支架以移动该多微柱的驱动装置。
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公开(公告)号：CN101189537A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200680019662.7
申请日：2006-05-29
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: G02B3/00
CPC classification number: H01J3/18 , H01J3/26 , H01J37/12 , H01J2237/0492 , H01J2237/1205
Abstract: 本发明提供一种具有简单结构的微柱。本发明涉及一种包括电子发射源和透镜的电子柱，更具体地涉及一种具有可便于对准和组装电子发射源和透镜的结构的电子柱。根据本发明的具有电子发射源和透镜单元的电子柱的特征在于：所述透镜单元包括两个以上的透镜层，并执行源透镜功能和聚焦功能。此外，所述电子柱的特征在于：所述透镜单元包括一个以上的偏转器型透镜层，从而附加地执行偏转器功能。
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公开(公告)号：CN101010774A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200580029412.7
申请日：2005-09-01
Applicant: 电子线技术院株式会社
IPC: H01J37/04
CPC classification number: H01J37/04 , G11B7/261 , H01J2237/0245 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/1503 , H01J2237/2817 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明提供了一种用于电子柱的运动设备，该运动设备提供了发射电子束的电子柱与其上照射电子束的样本之间的相对运动。该运动设备包括：用于将电子束发射到样本上的多微柱；用于支撑该多微柱的支架；以及用于驱动该支架以移动该多微柱的驱动装置。
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