公开(公告)号：CN106272276A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201510245783.4

申请日：2015-05-14

Applicant: 电子线技术院株式会社

Inventor： 金浩燮 ,  金秉辰 ,  成度镇

IPC: B25H1/00

Abstract: 本文公开了一种微型工作台，该微型工作台使用压电元件以使得该微型工作台能被可靠地操作，即使在真空环境下。在要求高精度的粒子柱中，例如，微电子柱，所述微型工作台能够被用作具有微米级或纳米级精度的工作台，以校准所述柱的部件，或者用于移动试样等。

公开(公告)号：CN106272276B

公开(公告)日：2019-09-27

申请号：CN201510245783.4

申请日：2015-05-14

Applicant: 电子线技术院株式会社

Inventor： 金浩燮 ,  金秉辰 ,  成度镇

IPC: B25H1/00

Abstract: 本文公开了一种微型工作台，该微型工作台使用压电元件以使得该微型工作台能被可靠地操作，即使在真空环境下。在要求高精度的粒子柱中，例如，微电子柱，所述微型工作台能够被用作具有微米级或纳米级精度的工作台，以校准所述柱的部件，或者用于移动试样等。