• 专利标题: 在TEM中对齐无特征薄膜
  • 专利标题(英): Aligning featureless thin film in TEM
  • 申请号: CN201510643247.X
    申请日: 2015-10-08
  • 公开(公告)号: CN105513932A
    公开(公告)日: 2016-04-20
  • 发明人: B.比吉塞G.范杜伊嫩
  • 申请人: FEI公司
  • 申请人地址: 美国俄勒冈州
  • 专利权人: FEI公司
  • 当前专利权人: FEI公司
  • 当前专利权人地址: 美国俄勒冈州
  • 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
  • 代理商 申屠伟进; 王传道
  • 优先权: 14188029.4 2014.10.08 EP
  • 主分类号: H01J37/26
  • IPC分类号: H01J37/26
在TEM中对齐无特征薄膜
摘要:
当制备无孔相位板(HFPP)时,优选无特征薄膜应当高精度地放置在TEM的衍射平面或者其共轭平面中。本发明公开了用于精确地将薄膜放置于所述平面中的两个相关的实施例。第一实施例使用当TEM在成像模式中时薄膜的伦奇图,并且应当调节伦奇图的放大率使得在伦奇图中央的放大率是无限的。第二实施例利用当TEM在衍射模式中时由薄膜所散射的电子。当薄膜不与衍射平面重合时,由薄膜所散射的电子似乎起源于不同于零射束的穿越的另一个位置。这作为光晕被观察到。光晕的不存在是薄膜与衍射平面重合的证据。注意到,该方法在样本保持器中没有样本的情况下得以最佳地执行。
公开/授权文献
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