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公开(公告)号：CN106158567A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610517840.4
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明提供一种荷电粒子束装置、试样观察系统。该荷电粒子束装置具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。
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公开(公告)号：CN104838466A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201380061917.6
申请日：2013-11-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/24 , G06F3/048 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/265 , G06F3/048 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/304 , H01J2237/202 , H01J2237/248 , H01J2237/2801
Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。
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公开(公告)号：CN106158567B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201610517840.4
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明提供一种荷电粒子束装置、试样观察系统。该荷电粒子束装置具备控制荷电粒子束装置的处理部，该荷电粒子束装置通过对试样照射一次电子束，取得与上述试样相关的信息，上述处理部使图像显示部显示表示当前的上述一次电子束的照射状态的图。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104137219B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201380011581.2
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
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公开(公告)号：CN104364877A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380029956.8
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20285 , H01J2237/22 , H01J2237/2801 , H01J2237/2809 , H01J37/244 , H01J2237/24495
Abstract: 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。
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公开(公告)号：CN104137219A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380011581.2
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
Abstract: 具有一计算机，其为了即使是初学者也能够容易地识别观察条件不同引起的拍摄结果的不同，在操作画面(200)中显示多个用于变更荷电粒子束装置的参数设定值的组合即试样的观察条件的观察目的设定按钮(E141)，处理部在操作画面(200)显示通过相反的3个以上的项目显示与多个上述观察目的设定按钮(E141)相关的观察条件的特征的雷达图(E144)。而且，在该雷达图(E144)作为项目至少显示高分辨率、表面结构的强调以及材料的不同的强调。
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公开(公告)号：CN104838466B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201380061917.6
申请日：2013-11-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/24 , G06F3/048 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/265 , G06F3/048 , H01J37/147 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/304 , H01J2237/202 , H01J2237/248 , H01J2237/2801
Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的
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公开(公告)号：CN104364877B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201380029956.8
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20285 , H01J2237/22 , H01J2237/2801 , H01J2237/2809
Abstract: 在带电粒子束装置中基本上大多以1万倍以上的倍率进行观察，难以获知肉眼能看到的样品的朝向和所取得的图像上的样品的朝向的对应，难以直观地把握倾斜的方向等。本发明的目的在于直观地把握样品的朝向或倾斜的状态，本发明涉及的带电粒子束装置的特征在于，具备：发射带电粒子束的带电粒子源；向样品照射所述带电粒子束的带电粒子光学系统；载置所述样品的样品台；至少能够使所述样品台沿倾斜方向移动的载物台；利用所述样品台的伪图像来显示所述样品台的倾斜状态的显示部；用户进行所述样品的观察对象部位及观察方向的指示的操作输入部；和基于从所述操作输入部输入的信号来控制所述载物台的移动量的控制部。
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