公开(公告)号：CN109906497B

公开(公告)日：2021-07-20

申请号：CN201680090391.8

申请日：2016-11-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 重藤训志 ,  山下贡

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/24

Abstract: 在通过带电粒子束装置进行原位(In situ)观察的情况下，并非带电粒子束装置的专家的观察者需要一边观察监视器一边保持每时每刻都变化的观察视场，因此需要实时地操作性良好地控制视场调整。为使观察者不需要移动视线而使实况图像(100)与比较图像(101)重叠进行显示。此时，想办法设计一个界面而能够使观察者毫无压力地执行两个图像的重叠。观察者通过按下操作画面上的按钮(57)，使与显示实况图像(100)的第一显示区域(52)的尺寸匹配的比较图像(101)半透明化，并将与实况图像(100)重叠的重叠图像(104)显示在图像显示装置的第一显示区域(52)的位置上。

公开(公告)号：CN109906497A

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201680090391.8

申请日：2016-11-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 重藤训志 ,  山下贡

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/20 ,  H01J37/24

Abstract: 在通过带电粒子束装置进行原位(In situ)观察的情况下，并非带电粒子束装置的专家的观察者需要一边观察监视器一边保持每时每刻都变化的观察视场，因此需要实时地操作性良好地控制视场调整。为使观察者不需要移动视线而使实况图像(100)与比较图像(101)重叠进行显示。此时，想办法设计一个界面而能够使观察者毫无压力地执行两个图像的重叠。观察者通过按下操作画面上的按钮(57)，使与显示实况图像(100)的第一显示区域(52)的尺寸匹配的比较图像(101)半透明化，并将与实况图像(100)重叠的重叠图像(104)显示在图像显示装置的第一显示区域(52)的位置上。

公开(公告)号：CN104838466B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201380061917.6

申请日：2013-11-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 山下贡 ,  安藤彻 ,  小西弥生 ,  玉山尚太朗 ,  牛尾奈绪子 ,  高野昌树

IPC: H01J37/24 ,  G06F3/048 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/265 ,  G06F3/048 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2801

Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的

公开(公告)号：CN104838466A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：CN201380061917.6

申请日：2013-11-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 山下贡 ,  安藤彻 ,  小西弥生 ,  玉山尚太朗 ,  牛尾奈绪子 ,  高野昌树

IPC: H01J37/24 ,  G06F3/048 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/265 ,  G06F3/048 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2801

Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。