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公开(公告)号：CN103907004B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
摘要： 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN108780054B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201680083602.5
申请日：2016-03-18
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： G01N23/2251 , G01N23/2202
摘要： 作为观察样本的装置，考虑有例示为扫描型电子显微镜、透射型电子显微镜的所谓带电粒子束装置。本申请的发明人通过深入研究，发现了在实施了产生气泡的处理后的液体的带电粒子束图像中未显现作业人员能够确定微小气泡的程度的对比度的问题。本申请的发明人发现了在包含实施了产生气泡的处理后的液体和离子液体在内的样本的带电粒子束图像中会显现作业人员能够确定微小气泡的程度的对比度的现象。本发明的一个特征在于利用该现象。根据本发明，能够确认液体中的气泡、例如微小气泡。
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公开(公告)号：CN104094375A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380007984.X
申请日：2013-02-01
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： C23C14/221 , H01J37/3178 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735
摘要： 本发明的目的在于提供在带电粒子线装置的真空室内不使用气相沉积法等而进行布线加工的布线方法及带电粒子线装置。为了达到上述目的，本发明提供如下的布线方法及带电粒子线装置，即，向试样上滴下离子液体或预先在载置试样的试样台上准备离子液体，向布线加工起点与布线加工终点之间的布线轨道上照射带电粒子线而形成由离子液体构成的布线。根据这样的结构，能不使用气相沉积法等而在带电粒子线装置的真空室内进行布线加工。
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公开(公告)号：CN103907004A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
摘要： 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN108780054A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201680083602.5
申请日：2016-03-18
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： G01N23/2251 , G01N23/2202
CPC分类号： G01N1/28 , G01N23/04 , G01N23/225 , H01J37/20
摘要： 作为观察样本的装置，考虑有例示为扫描型电子显微镜、透射型电子显微镜的所谓带电粒子束装置。本申请的发明人通过深入研究，发现了在实施了产生气泡的处理后的液体的带电粒子束图像中未显现作业人员能够确定微小气泡的程度的对比度的问题。本申请的发明人发现了在包含实施了产生气泡的处理后的液体和离子液体在内的样本的带电粒子束图像中会显现作业人员能够确定微小气泡的程度的对比度的现象。本发明的一个特征在于利用该现象。根据本发明，能够确认液体中的气泡、例如微小气泡。
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公开(公告)号：CN104094375B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380007984.X
申请日：2013-02-01
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： C23C14/221 , H01J37/3178 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735
摘要： 本发明的目的在于提供在带电粒子线装置的真空室内不使用气相沉积法等而进行布线加工的布线方法及带电粒子线装置。为了达到上述目的，本发明提供如下的布线方法及带电粒子线装置，即，向试样上滴下离子液体或预先在载置试样的试样台上准备离子液体，向布线加工起点与布线加工终点之间的布线轨道上照射带电粒子线而形成由离子液体构成的布线。根据这样的结构，能不使用气相沉积法等而在带电粒子线装置的真空室内进行布线加工。
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