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公开(公告)号：CN108780054B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201680083602.5
申请日：2016-03-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , G01N23/2202
Abstract: 作为观察样本的装置，考虑有例示为扫描型电子显微镜、透射型电子显微镜的所谓带电粒子束装置。本申请的发明人通过深入研究，发现了在实施了产生气泡的处理后的液体的带电粒子束图像中未显现作业人员能够确定微小气泡的程度的对比度的问题。本申请的发明人发现了在包含实施了产生气泡的处理后的液体和离子液体在内的样本的带电粒子束图像中会显现作业人员能够确定微小气泡的程度的对比度的现象。本发明的一个特征在于利用该现象。根据本发明，能够确认液体中的气泡、例如微小气泡。
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公开(公告)号：CN105103263B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
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公开(公告)号：CN108780054A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201680083602.5
申请日：2016-03-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , G01N23/2202
CPC classification number: G01N1/28 , G01N23/04 , G01N23/225 , H01J37/20
Abstract: 作为观察样本的装置，考虑有例示为扫描型电子显微镜、透射型电子显微镜的所谓带电粒子束装置。本申请的发明人通过深入研究，发现了在实施了产生气泡的处理后的液体的带电粒子束图像中未显现作业人员能够确定微小气泡的程度的对比度的问题。本申请的发明人发现了在包含实施了产生气泡的处理后的液体和离子液体在内的样本的带电粒子束图像中会显现作业人员能够确定微小气泡的程度的对比度的现象。本发明的一个特征在于利用该现象。根据本发明，能够确认液体中的气泡、例如微小气泡。
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公开(公告)号：CN105103263A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
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