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公开(公告)号：CN105493225B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201480046171.6
申请日：2014-05-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/22 , G01N23/2204 , H01J37/18 , H01J37/285 , H01J2237/006 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806 , H01M8/04671
Abstract: 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105103263B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
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公开(公告)号：CN105531793B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201480047309.4
申请日：2014-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/10 , G01N23/20058 , G01N2223/418 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/21 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。
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公开(公告)号：CN105531793A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201480047309.4
申请日：2014-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/10 , G01N23/20058 , G01N2223/418 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/21 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。
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公开(公告)号：CN105493225A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480046171.6
申请日：2014-05-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/22 , G01N23/2204 , H01J37/18 , H01J37/285 , H01J2237/006 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806 , H01M8/04671
Abstract: 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。
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公开(公告)号：CN105103263A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
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