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公开(公告)号：CN107408484B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201580077898.5
申请日：2015-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/295
Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。
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公开(公告)号：CN105531793A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201480047309.4
申请日：2014-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/10 , G01N23/20058 , G01N2223/418 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/21 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。
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公开(公告)号：CN107408484A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201580077898.5
申请日：2015-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/295
CPC classification number: H01J37/224 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/295
Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104067368A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201280067960.9
申请日：2012-12-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/20214 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够配置多个试样台且至少一个试样台能够移动，并且能够利用聚焦离子束装置制作多个透射型电子显微镜用试样的电子显微镜用试样支架。在试样支架(1)的前端部设有支架前端开口部(9)。并且，在试样支架(1)的后端部具有按钮(5)、旋转机构(6)、粗调机构(7)以及连接器(8)。通过按压按钮(5)而使旋转机构(6)的固定被解除，从而从旋转机构(6)至后端部、以及试样支架的前端部进行旋转。利用本旋转机构，能够使利用透射型电子显微镜进行观察的情况和利用聚焦离子束装置制作透射型电子显微镜用试样的情况的试样的配置进行旋转。并且，能够利用粗调机构(7)及微调机构使试样台移动。
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公开(公告)号：CN108885963B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201680084244.X
申请日：2016-08-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/26
Abstract: 对试样照射电子束来进行观察的电子显微镜具备：边缘元件，其配置在从上述试样未受到衍射而透射的非衍射波会聚的衍射面或与衍射面等效的面内；以及控制装置，其控制上述电子束或上述边缘元件。上述边缘元件具有遮断上述电子束的屏蔽部以及使上述电子束透射的开口，上述开口由上述屏蔽部的边缘构成，使得在上述衍射面内包围上述非衍射波会聚的点。上述控制装置将上述非衍射波会聚的点与上述边缘的距离保持为预定间隔，使上述非衍射波会聚的点沿着上述边缘相对于上述边缘使位置相对地变化，由此使观察图像的对比度变化。
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公开(公告)号：CN105531793B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201480047309.4
申请日：2014-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/10 , G01N23/20058 , G01N2223/418 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/21 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。
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公开(公告)号：CN108885963A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201680084244.X
申请日：2016-08-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/26
Abstract: 对试样照射电子束来进行观察的电子显微镜具备：边缘元件，其配置在从上述试样未受到衍射而透射的非衍射波会聚的衍射面或与衍射面等效的面内；以及控制装置，其控制上述电子束或上述边缘元件。上述边缘元件具有遮断上述电子束的屏蔽部以及使上述电子束透射的开口，上述开口由上述屏蔽部的边缘构成，使得在上述衍射面内包围上述非衍射波会聚的点。上述控制装置将上述非衍射波会聚的点与上述边缘的距离保持为预定间隔，使上述非衍射波会聚的点沿着上述边缘相对于上述边缘使位置相对地变化，由此使观察图像的对比度变化。
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公开(公告)号：CN104067368B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280067960.9
申请日：2012-12-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/20214 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够配置多个试样台且至少一个试样台能够移动，并且能够利用聚焦离子束装置制作多个透射型电子显微镜用试样的电子显微镜用试样支架。在试样支架(1)的前端部设有支架前端开口部(9)。并且，在试样支架(1)的后端部具有按钮(5)、旋转机构(6)、粗调机构(7)以及连接器(8)。通过按压按钮(5)而使旋转机构(6)的固定被解除，从而从旋转机构(6)至后端部、以及试样支架的前端部进行旋转。利用本旋转机构，能够使利用透射型电子显微镜进行观察的情况和利用聚焦离子束装置制作透射型电子显微镜用试样的情况的试样的配置进行旋转。并且，能够利用粗调机构(7)及微调机构使试样台移动。
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