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公开(公告)号：CN108885963A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201680084244.X
申请日：2016-08-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/26
Abstract: 对试样照射电子束来进行观察的电子显微镜具备：边缘元件，其配置在从上述试样未受到衍射而透射的非衍射波会聚的衍射面或与衍射面等效的面内；以及控制装置，其控制上述电子束或上述边缘元件。上述边缘元件具有遮断上述电子束的屏蔽部以及使上述电子束透射的开口，上述开口由上述屏蔽部的边缘构成，使得在上述衍射面内包围上述非衍射波会聚的点。上述控制装置将上述非衍射波会聚的点与上述边缘的距离保持为预定间隔，使上述非衍射波会聚的点沿着上述边缘相对于上述边缘使位置相对地变化，由此使观察图像的对比度变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112236838A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201880094245.1
申请日：2018-07-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244
Abstract: 带电粒子束检测器具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，其特征在于，具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。
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公开(公告)号：CN108885963B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201680084244.X
申请日：2016-08-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/26
Abstract: 对试样照射电子束来进行观察的电子显微镜具备：边缘元件，其配置在从上述试样未受到衍射而透射的非衍射波会聚的衍射面或与衍射面等效的面内；以及控制装置，其控制上述电子束或上述边缘元件。上述边缘元件具有遮断上述电子束的屏蔽部以及使上述电子束透射的开口，上述开口由上述屏蔽部的边缘构成，使得在上述衍射面内包围上述非衍射波会聚的点。上述控制装置将上述非衍射波会聚的点与上述边缘的距离保持为预定间隔，使上述非衍射波会聚的点沿着上述边缘相对于上述边缘使位置相对地变化，由此使观察图像的对比度变化。
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公开(公告)号：CN112236838B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN201880094245.1
申请日：2018-07-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244
Abstract: 带电粒子束检测器具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，其特征在于，具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。
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公开(公告)号：CN111919277B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN201880091817.0
申请日：2018-04-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , G01T1/20
Abstract: 电子枪(1)照射电子束，具备闪烁器的照相机检测通过该电子束的照射而从样本产生的信号，并拍摄透射像。电流读入端子测量发向闪烁器的信号的电流值，电子束密度计算部(483)根据测量出的电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，输出控制部(485)进行使用与计算出的电子束密度有关的信息的输出控制。这样，电子显微镜测量发向照相机的闪烁器的信号的电流值，根据该电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，因此能够计算出能确定电子束对样本的影响的信息。
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公开(公告)号：CN111919277A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201880091817.0
申请日：2018-04-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , G01T1/20
Abstract: 电子枪(1)照射电子束，具备闪烁器的照相机检测通过该电子束的照射而从样本产生的信号，并拍摄透射像。电流读入端子测量发向闪烁器的信号的电流值，电子束密度计算部(483)根据测量出的电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，输出控制部(485)进行使用与计算出的电子束密度有关的信息的输出控制。这样，电子显微镜测量发向照相机的闪烁器的信号的电流值，根据该电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，因此能够计算出能确定电子束对样本的影响的信息。
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