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公开(公告)号：CN109155226A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201680085834.4
申请日：2016-05-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明的课题在于提供一种试样保持装置及具备该试样保持装置的带电粒子线装置，能观察在不同的气体空间中产生的试样表面以及内部的现象。为了解决该课题，以具备能向试样(5)的第一部位喷射第一气体的第一气体喷射喷嘴(6)、能向试样(5)的与第一部位不同的第二部位喷射第二气体的第二气体喷射喷嘴(6)、设置于第一气体喷射喷嘴(6)与第二气体喷射喷嘴(6)之间的隔壁部(7)的方式构成使用带电粒子线观察试样的带电粒子线装置用的试样保持装置(1)。
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公开(公告)号：CN107408484B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201580077898.5
申请日：2015-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/295
Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。
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公开(公告)号：CN103493171A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201280019911.8
申请日：2012-04-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/006 , H01J2237/2003 , H01J2237/2065
Abstract: 本发明的电子显微镜用试样保持装置（80），具有：通过对上部隔膜保持部（20）、试样保持板（30）以及下部隔膜保持部（40）的3个部件进行组装而形成的试样保持组件（10）；可更换地保持该试样保持组件的保持部（80A）。试样保持组件具有在上部隔膜保持部的隔膜（25）与下部隔膜保持部的隔膜（45）之间形成的小室（15）和与该小室连接的流路（49a），将在试样保持板的突起部（31）上安装的试样（61）配置于小室内地构成。上部隔膜保持部的隔膜、试样以及下部隔膜保持部的隔膜，沿着电子束的光轴（11）配置。由此，能够提供在气体、液体等特殊环境中的显微镜观察中，易于进行特定部位的观察，且不需要每次观察时都进行隔膜更换等作业的电子束显微镜用试样保持装置。
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公开(公告)号：CN108885963B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201680084244.X
申请日：2016-08-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/26
Abstract: 对试样照射电子束来进行观察的电子显微镜具备：边缘元件，其配置在从上述试样未受到衍射而透射的非衍射波会聚的衍射面或与衍射面等效的面内；以及控制装置，其控制上述电子束或上述边缘元件。上述边缘元件具有遮断上述电子束的屏蔽部以及使上述电子束透射的开口，上述开口由上述屏蔽部的边缘构成，使得在上述衍射面内包围上述非衍射波会聚的点。上述控制装置将上述非衍射波会聚的点与上述边缘的距离保持为预定间隔，使上述非衍射波会聚的点沿着上述边缘相对于上述边缘使位置相对地变化，由此使观察图像的对比度变化。
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公开(公告)号：CN105612597A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201480052535.1
申请日：2014-09-05
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/32862 , H01J2237/184 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003
Abstract: 本发明的目的在于：提供不从带电粒子束装置(1)取出样本，就能够形成各种环境以及进行现场观察和分析的带电粒子束装置以及带电粒子束装置用样本保持装置。在本发明中，从与样本保持单元(6)相对的一侧插入具备使安装在样本保持单元的样本(10)的状态变化的功能的可装卸的逆侧入口部(17)，由此通过具有不同功能的逆侧入口部和样本保持单元的组合，能够不从带电粒子束装置取出样本地观察/分析不同过程中的样本的变化。逆侧入口部由2部分构成，前端的一部分能够卸下，在安装到样本保持单元后，能够在维持气氛的状态下直接输送，能够使样本不暴露到大气中地在不同的装置之间输送。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108885963A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201680084244.X
申请日：2016-08-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/26
Abstract: 对试样照射电子束来进行观察的电子显微镜具备：边缘元件，其配置在从上述试样未受到衍射而透射的非衍射波会聚的衍射面或与衍射面等效的面内；以及控制装置，其控制上述电子束或上述边缘元件。上述边缘元件具有遮断上述电子束的屏蔽部以及使上述电子束透射的开口，上述开口由上述屏蔽部的边缘构成，使得在上述衍射面内包围上述非衍射波会聚的点。上述控制装置将上述非衍射波会聚的点与上述边缘的距离保持为预定间隔，使上述非衍射波会聚的点沿着上述边缘相对于上述边缘使位置相对地变化，由此使观察图像的对比度变化。
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公开(公告)号：CN106663584A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580035457.9
申请日：2015-06-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/22 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/295 , H01J2237/20207 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明提供一种不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样的装置及方法。本发明中，基于显示在显示部(13)上的电子束衍射图案(22b)中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点(23)位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案(26)，并设定显示为以该显示的圆形图案(26)的中心位置(27)为起点且以位于圆形图案(26)的圆周上的主斑点(23)的位置为终点的矢量(28)，基于该显示的矢量(28)的方向及大小，执行晶体取向对准。由此，不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样。
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公开(公告)号：CN103493171B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201280019911.8
申请日：2012-04-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/006 , H01J2237/2003 , H01J2237/2065
Abstract: 本发明的电子显微镜用试样保持装置（80），具有：通过对上部隔膜保持部（20）、试样保持板（30）以及下部隔膜保持部（40）的3个部件进行组装而形成的试样保持组件（10）；可更换地保持该试样保持组件的保持部（80A）。试样保持组件具有在上部隔膜保持部的隔膜（25）与下部隔膜保持部的隔膜（45）之间形成的小室（15）和与该小室连接的流路（49a），将在试样保持板的突起部（31）上安装的试样（61）配置于小室内地构成。上部隔膜保持部的隔膜、试样以及下部隔膜保持部的隔膜，沿着电子束的光轴（11）配置。由此，能够提供在气体、液体等特殊环境中的显微镜观察中，易于进行特定部位的观察，且不需要每次观察时都进行隔膜更换等作业的电子束显微镜用试样保持装置。
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公开(公告)号：CN109155226B
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201680085834.4
申请日：2016-05-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20
Abstract: 本发明的课题在于提供一种试样保持装置及具备该试样保持装置的带电粒子线装置，能观察在不同的气体空间中产生的试样表面以及内部的现象。为了解决该课题，以具备能向试样(5)的第一部位喷射第一气体的第一气体喷射喷嘴(6)、能向试样(5)的与第一部位不同的第二部位喷射第二气体的第二气体喷射喷嘴(6)、设置于第一气体喷射喷嘴(6)与第二气体喷射喷嘴(6)之间的隔壁部(7)的方式构成使用带电粒子线观察试样的带电粒子线装置用的试样保持装置(1)。
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公开(公告)号：CN106663584B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201580035457.9
申请日：2015-06-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样的装置及方法。本发明中，基于显示在显示部(13)上的电子束衍射图案(22b)中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点(23)位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案(26)，并设定显示为以该显示的圆形图案(26)的中心位置(27)为起点且以位于圆形图案(26)的圆周上的主斑点(23)的位置为终点的矢量(28)，基于该显示的矢量(28)的方向及大小，执行晶体取向对准。由此，不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样。
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