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公开(公告)号：CN106663584B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201580035457.9
申请日：2015-06-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样的装置及方法。本发明中，基于显示在显示部(13)上的电子束衍射图案(22b)中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点(23)位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案(26)，并设定显示为以该显示的圆形图案(26)的中心位置(27)为起点且以位于圆形图案(26)的圆周上的主斑点(23)的位置为终点的矢量(28)，基于该显示的矢量(28)的方向及大小，执行晶体取向对准。由此，不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103620728A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201280031593.7
申请日：2012-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J37/295 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种减少电子射线的阻断所导致的像信息的丢失的问题，并且改善了电位分布成为各向异性的问题的、用于电子显微镜的相位板。其具有连为一体的开口部(23)，在开口部配置从开口部的外廓部朝向开口部中心的多个电极(11)。各个电极(11)的剖面，采用隔着绝缘层(25)用由导体或者半导体构成的屏蔽层(26)覆盖由导体或者半导体构成的电压施加层(24)的构造。由此，构成能够减少电极(11)所导致的电子射线阻断，并且能够改善电位分布成为各向异性的问题的相位板。
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公开(公告)号：CN105659353B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201480058375.1
申请日：2014-10-31
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/10 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/263 , H01J2237/045 , H01J2237/103 , H01J2237/221 , H01J2237/248 , H01J2237/2602
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。
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公开(公告)号：CN106663584A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580035457.9
申请日：2015-06-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/22 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/295 , H01J2237/20207 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明提供一种不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样的装置及方法。本发明中，基于显示在显示部(13)上的电子束衍射图案(22b)中的衍射斑点的亮度分布，设定以主斑点(23)位于圆周上的方式重叠显示的拟合用圆形图案(26)，并设定显示为以该显示的圆形图案(26)的中心位置(27)为起点且以位于圆形图案(26)的圆周上的主斑点(23)的位置为终点的矢量(28)，基于该显示的矢量(28)的方向及大小，执行晶体取向对准。由此，不论试样、晶体取向的种类为何，即使不是熟练者，也能够处理量良好且高精度地对准晶体取向并观察试样。
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公开(公告)号：CN105659353A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480058375.1
申请日：2014-10-31
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/10 , H01J37/22 , H01J37/261 , H01J37/263 , H01J2237/045 , H01J2237/103 , H01J2237/221 , H01J2237/248 , H01J2237/2602
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。
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公开(公告)号：CN103620728B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201280031593.7
申请日：2012-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J37/295 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种减少电子射线的阻断所导致的像信息的丢失的问题，并且改善了电位分布成为各向异性的问题的、用于电子显微镜的相位板。其具有连为一体的开口部(23)，在开口部配置从开口部的外廓部朝向开口部中心的多个电极(11)。各个电极(11)的剖面，采用隔着绝缘层(25)用由导体或者半导体构成的屏蔽层(26)覆盖由导体或者半导体构成的电压施加层(24)的构造。由此，构成能够减少电极(11)所导致的电子射线阻断，并且能够改善电位分布成为各向异性的问题的相位板。
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