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公开(公告)号：CN107408484B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201580077898.5
申请日：2015-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/295
Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。
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公开(公告)号：CN106104746A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201480077095.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/153 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/14 , H01J37/26 , H01J2237/1534 , H01J2237/2802
Abstract: 构成带电粒子束装置的像差校正器的多极子透镜，通常只能设定一个满足球面像差校正条件和磁饱和这两方面的条件，因此无法对应于多个加速电压。为此，本发明提供一种球面像差校正器，其根据物镜的励磁电流的变更，对构成多极子透镜的多组极子群选择性地进行励磁，从而针对多个像差校正条件满足磁饱和状态。
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公开(公告)号：CN107408484A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201580077898.5
申请日：2015-04-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/295
CPC classification number: H01J37/224 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/295
Abstract: 在带电粒子束装置中，容易且自动地拍摄与任意的衍射点相对应的透射像、与该透射像的部分范围相对应的衍射图案。该带电粒子束装置具有：成像部，其对试样的像进行成像；光阑，其被配置在所述成像部内，并形成有用于使来自所述试样的电子束通过的大小不同的多个开口；移动部，其变更所述光阑的位置；以及显示部，其显示所成像的像，当作业者在所述显示部上例如选择了衍射点(A)时，所述移动部按照所述衍射点(A)的位置，根据所述光阑与所述像的位置关系来移动所述光阑。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103620728A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201280031593.7
申请日：2012-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J37/295 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种减少电子射线的阻断所导致的像信息的丢失的问题，并且改善了电位分布成为各向异性的问题的、用于电子显微镜的相位板。其具有连为一体的开口部(23)，在开口部配置从开口部的外廓部朝向开口部中心的多个电极(11)。各个电极(11)的剖面，采用隔着绝缘层(25)用由导体或者半导体构成的屏蔽层(26)覆盖由导体或者半导体构成的电压施加层(24)的构造。由此，构成能够减少电极(11)所导致的电子射线阻断，并且能够改善电位分布成为各向异性的问题的相位板。
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公开(公告)号：CN108885963B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201680084244.X
申请日：2016-08-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/26
Abstract: 对试样照射电子束来进行观察的电子显微镜具备：边缘元件，其配置在从上述试样未受到衍射而透射的非衍射波会聚的衍射面或与衍射面等效的面内；以及控制装置，其控制上述电子束或上述边缘元件。上述边缘元件具有遮断上述电子束的屏蔽部以及使上述电子束透射的开口，上述开口由上述屏蔽部的边缘构成，使得在上述衍射面内包围上述非衍射波会聚的点。上述控制装置将上述非衍射波会聚的点与上述边缘的距离保持为预定间隔，使上述非衍射波会聚的点沿着上述边缘相对于上述边缘使位置相对地变化，由此使观察图像的对比度变化。
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公开(公告)号：CN106104746B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201480077095.5
申请日：2014-04-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/153 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/14 , H01J37/26 , H01J2237/1534 , H01J2237/2802
Abstract: 构成带电粒子束装置的像差校正器的多极子透镜，通常只能设定一个满足球面像差校正条件和磁饱和这两方面的条件，因此无法对应于多个加速电压。为此，本发明提供一种球面像差校正器，其根据物镜的励磁电流的变更，对构成多极子透镜的多组极子群选择性地进行励磁，从而针对多个像差校正条件满足磁饱和状态。
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公开(公告)号：CN108885963A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201680084244.X
申请日：2016-08-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/22 , H01J37/26
Abstract: 对试样照射电子束来进行观察的电子显微镜具备：边缘元件，其配置在从上述试样未受到衍射而透射的非衍射波会聚的衍射面或与衍射面等效的面内；以及控制装置，其控制上述电子束或上述边缘元件。上述边缘元件具有遮断上述电子束的屏蔽部以及使上述电子束透射的开口，上述开口由上述屏蔽部的边缘构成，使得在上述衍射面内包围上述非衍射波会聚的点。上述控制装置将上述非衍射波会聚的点与上述边缘的距离保持为预定间隔，使上述非衍射波会聚的点沿着上述边缘相对于上述边缘使位置相对地变化，由此使观察图像的对比度变化。
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公开(公告)号：CN103620728B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201280031593.7
申请日：2012-05-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , H01J37/26
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J37/295 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种减少电子射线的阻断所导致的像信息的丢失的问题，并且改善了电位分布成为各向异性的问题的、用于电子显微镜的相位板。其具有连为一体的开口部(23)，在开口部配置从开口部的外廓部朝向开口部中心的多个电极(11)。各个电极(11)的剖面，采用隔着绝缘层(25)用由导体或者半导体构成的屏蔽层(26)覆盖由导体或者半导体构成的电压施加层(24)的构造。由此，构成能够减少电极(11)所导致的电子射线阻断，并且能够改善电位分布成为各向异性的问题的相位板。
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