公开(公告)号：CN103493171B

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201280019911.8

申请日：2012-04-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  渡部明 ,  大南佑介

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2065

Abstract: 本发明的电子显微镜用试样保持装置（80），具有：通过对上部隔膜保持部（20）、试样保持板（30）以及下部隔膜保持部（40）的3个部件进行组装而形成的试样保持组件（10）；可更换地保持该试样保持组件的保持部（80A）。试样保持组件具有在上部隔膜保持部的隔膜（25）与下部隔膜保持部的隔膜（45）之间形成的小室（15）和与该小室连接的流路（49a），将在试样保持板的突起部（31）上安装的试样（61）配置于小室内地构成。上部隔膜保持部的隔膜、试样以及下部隔膜保持部的隔膜，沿着电子束的光轴（11）配置。由此，能够提供在气体、液体等特殊环境中的显微镜观察中，易于进行特定部位的观察，且不需要每次观察时都进行隔膜更换等作业的电子束显微镜用试样保持装置。

公开(公告)号：CN103493171A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：CN201280019911.8

申请日：2012-04-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 矢口纪惠 ,  渡部明 ,  大南佑介

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2065

Abstract: 本发明的电子显微镜用试样保持装置（80），具有：通过对上部隔膜保持部（20）、试样保持板（30）以及下部隔膜保持部（40）的3个部件进行组装而形成的试样保持组件（10）；可更换地保持该试样保持组件的保持部（80A）。试样保持组件具有在上部隔膜保持部的隔膜（25）与下部隔膜保持部的隔膜（45）之间形成的小室（15）和与该小室连接的流路（49a），将在试样保持板的突起部（31）上安装的试样（61）配置于小室内地构成。上部隔膜保持部的隔膜、试样以及下部隔膜保持部的隔膜，沿着电子束的光轴（11）配置。由此，能够提供在气体、液体等特殊环境中的显微镜观察中，易于进行特定部位的观察，且不需要每次观察时都进行隔膜更换等作业的电子束显微镜用试样保持装置。