公开(公告)号：CN108140525A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201580083098.4

申请日：2015-09-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 山泽雄 ,  锻示和利

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明的目的涉及，在低加速电压下，高分辨率观察明视野STEM、暗视野像STEM以及EELS。本发明涉及具备电子能量损失谱仪(17)的透射扫描型电子显微镜，其中，通过变更试样相对于一次电子束的光轴方向的配置，从而控制STEM检测器(11、13)以及电子能量损失谱仪(17)的捕获角。根据本发明，能够抑制伴随着捕获角的控制的色差的产生，且能够容易地控制最适于明视野STEM、暗视野STEM以及EELS的每一个的散射角度。

公开(公告)号：CN112236838A

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN201880094245.1

申请日：2018-07-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小松正明 ,  今村伸 ,  田村圭司 ,  锻示和利 ,  冈田聪

IPC: H01J37/244

Abstract: 带电粒子束检测器具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，其特征在于，具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。

公开(公告)号：CN108140525B

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN201580083098.4

申请日：2015-09-29

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 山泽雄 ,  锻示和利

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明的目的涉及，在低加速电压下，高分辨率观察明视野STEM、暗视野像STEM以及EELS。本发明涉及具备电子能量损失谱仪(17)的透射扫描型电子显微镜，其中，通过变更试样相对于一次电子束的光轴方向的配置，从而控制STEM检测器(11、13)以及电子能量损失谱仪(17)的捕获角。根据本发明，能够抑制伴随着捕获角的控制的色差的产生，且能够容易地控制最适于明视野STEM、暗视野STEM以及EELS的每一个的散射角度。

公开(公告)号：CN112236838B

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN201880094245.1

申请日：2018-07-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小松正明 ,  今村伸 ,  田村圭司 ,  锻示和利 ,  冈田聪

IPC: H01J37/244

Abstract: 带电粒子束检测器具备：将包含荧光体粒子的荧光层和金属层层叠的层叠体，其特征在于，具备设于所述金属层与所述荧光层之间的树脂层。