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公开(公告)号：CN105103263B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
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公开(公告)号：CN104081491A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201380007222.X
申请日：2013-02-18
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/16 , G10K11/16 , G10K11/172 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/0216
Abstract: 本发明的目的在于提供隔音罩以及带电粒子线装置，所述隔音罩实现由特定频率带来的图像干扰的抑制和小型化的并存。为了实现上述目的，在本发明中提出有如下隔音罩以及被该隔音罩包围的带电粒子线装置的方案，在以下包围带电粒子线装置的隔音罩中，具备空心部形成部件，该空心部形成部件形成筒状体，该筒状体具有沿该隔音罩的内壁的壁面，通过该空心部形成部件形成的筒状体的一端开放，该筒状部的另一端封闭。
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公开(公告)号：CN105493225B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201480046171.6
申请日：2014-05-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/22 , G01N23/2204 , H01J37/18 , H01J37/285 , H01J2237/006 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806 , H01M8/04671
Abstract: 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。
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公开(公告)号：CN106030753A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201480076317.1
申请日：2014-03-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , G01N23/225 , H01J37/252
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/2252 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J2237/026 , H01J2237/2442 , H01J2237/2445 , H01J2237/2561
Abstract: 在能量色散型X射线EDX分析中，由于检测器的大面积化等，产生检测的信号的峰/背比降低的问题。为了解决上述问题，在本发明中，提供一种试样架以及应用了该试样架的带电粒子束装置，试样架的特征在于，具备：主体部，其保持试样(301)；试样压板部(103)，其可自由装卸地设置在上述主体部，通过安装到该主体部来固定在该主体部保持的试样(301)，上述试样压板部(103)具有：第一孔(107)，其用于使带电粒子束(106)经过；第二孔(108)，其向检测器(102)只导入从上述试样(301)产生的信号(302)中的特定的信号(303)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111919277B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN201880091817.0
申请日：2018-04-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , G01T1/20
Abstract: 电子枪(1)照射电子束，具备闪烁器的照相机检测通过该电子束的照射而从样本产生的信号，并拍摄透射像。电流读入端子测量发向闪烁器的信号的电流值，电子束密度计算部(483)根据测量出的电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，输出控制部(485)进行使用与计算出的电子束密度有关的信息的输出控制。这样，电子显微镜测量发向照相机的闪烁器的信号的电流值，根据该电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，因此能够计算出能确定电子束对样本的影响的信息。
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公开(公告)号：CN111919277A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201880091817.0
申请日：2018-04-02
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , G01T1/20
Abstract: 电子枪(1)照射电子束，具备闪烁器的照相机检测通过该电子束的照射而从样本产生的信号，并拍摄透射像。电流读入端子测量发向闪烁器的信号的电流值，电子束密度计算部(483)根据测量出的电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，输出控制部(485)进行使用与计算出的电子束密度有关的信息的输出控制。这样，电子显微镜测量发向照相机的闪烁器的信号的电流值，根据该电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，因此能够计算出能确定电子束对样本的影响的信息。
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公开(公告)号：CN106030753B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201480076317.1
申请日：2014-03-28
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , G01N23/225 , H01J37/252
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/2252 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J2237/026 , H01J2237/2442 , H01J2237/2445 , H01J2237/2561
Abstract: 在能量色散型X射线EDX分析中，由于检测器的大面积化等，产生检测的信号的峰/背比降低的问题。为了解决上述问题，在本发明中，提供一种试样架以及应用了该试样架的带电粒子束装置，试样架的特征在于，具备：主体部，其保持试样(301)；试样压板部(103)，其可自由装卸地设置在上述主体部，通过安装到该主体部来固定在该主体部保持的试样(301)，上述试样压板部(103)具有：第一孔(107)，其用于使带电粒子束(106)经过；第二孔(108)，其向检测器(102)只导入从上述试样(301)产生的信号(302)中的特定的信号(303)。
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公开(公告)号：CN105493225A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480046171.6
申请日：2014-05-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/22 , G01N23/2204 , H01J37/18 , H01J37/285 , H01J2237/006 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2802 , H01J2237/2806 , H01M8/04671
Abstract: 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。
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公开(公告)号：CN105103263A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480018726.6
申请日：2014-03-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/06 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/006 , H01J2237/182 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/2802
Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。
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