公开(公告)号：CN111919277B

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN201880091817.0

申请日：2018-04-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 长冲功 ,  田村圭司 ,  野寺康行

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/20

Abstract: 电子枪(1)照射电子束，具备闪烁器的照相机检测通过该电子束的照射而从样本产生的信号，并拍摄透射像。电流读入端子测量发向闪烁器的信号的电流值，电子束密度计算部(483)根据测量出的电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，输出控制部(485)进行使用与计算出的电子束密度有关的信息的输出控制。这样，电子显微镜测量发向照相机的闪烁器的信号的电流值，根据该电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，因此能够计算出能确定电子束对样本的影响的信息。

公开(公告)号：CN111919277A

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201880091817.0

申请日：2018-04-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 长冲功 ,  田村圭司 ,  野寺康行

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/20

Abstract: 电子枪(1)照射电子束，具备闪烁器的照相机检测通过该电子束的照射而从样本产生的信号，并拍摄透射像。电流读入端子测量发向闪烁器的信号的电流值，电子束密度计算部(483)根据测量出的电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，输出控制部(485)进行使用与计算出的电子束密度有关的信息的输出控制。这样，电子显微镜测量发向照相机的闪烁器的信号的电流值，根据该电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，因此能够计算出能确定电子束对样本的影响的信息。