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公开(公告)号：CN109637921A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811293777.6
申请日：2014-11-14
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/02 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/30 , H01J37/317 , G21K1/02 , G21K5/04
CPC classification number: G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
Abstract: 本发明涉及一种适用于带电粒子光刻系统(10)的带电粒子束产生器(50)，该带电粒子束产生器包括：带电粒子源(52)，其用于产生沿着光轴(A)的带电粒子束(54)；准直器电极堆叠(70)，其用于准直该带电粒子束，其中该电极堆叠沿着光轴跨越准直器高度(Hc)；产生器真空腔室(51)，其用于容纳带电粒子源(52)和准直器电极堆叠(70)；以及至少一个真空泵系统(122、123)，其被设置在产生器真空腔室(51)内部离该准直器电极堆叠的外周边(85)一距离(ΔRp)处，其中至少一个真空泵系统跨越与光轴(A)基本上平行地定向的有效泵送表面(122a、123a)，并且其中该有效泵送表面具有跨越准直器高度(Hc)的至少一部分的表面高度(Hp)。
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公开(公告)号：CN108511310A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201710638079.4
申请日：2017-07-31
Applicant: 株式会社新动力等离子体 , 成均馆大学校产学协力团
IPC: H01J37/24
CPC classification number: H01J37/32183 , H01F27/24 , H01J37/321 , H02M7/44 , H01J37/24
Abstract: 本发明涉及具有无源器件的供电装置及利用其的用于等离子体点火供电方法。本发明一实施例的具有无源器件的供电装置用于在等离子体发生器内对等离子体进行点火，所述具有无源器件的供电装置包括：开关电源，具有整流器和逆变器；变压器，具有初级绕组及卷绕所述初级绕组的铁氧体磁芯；以及共振网络，连接在所述开关电源与所述初级绕组之间，包括共振电感器及共振电容器，所述共振电感器与所述初级绕组串联，所述共振电容器与所述初级绕组并联并与所述共振电感器串联并所述共振网路包括一端与所述共振电容器串联且另一端接地连接的无源器件，通过所述无源器件调节所述逆变器的电压、电流的大小。
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公开(公告)号：CN105531793B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201480047309.4
申请日：2014-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/10 , G01N23/20058 , G01N2223/418 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/21 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。
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公开(公告)号：CN104956461A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201480006842.6
申请日：2014-01-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , G01T1/20 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/30 , H01J37/3178
Abstract: 本发明的目的在于，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，提取出因某特定的带电粒子束产生的信号，例如在FIB-SEM装置中分离因离子束照射而产生的二次电子信号和因电子束照射而产生的二次电子信号，涉及高速地调制带电粒子束的照射条件，检测与调制周期同步的信号。另外，涉及对来自发光特性不同的2种以上的荧光体的发光进行分光而检测各自的信号强度，根据设定只向样本照射第一带电粒子束时的第一信号强度和只向样本照射第二带电粒子束时的第二信号强度的比率的机构的比率来处理信号。根据本发明，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，也能够只提取出因希望的带电粒子束产生的信号。例如在FIB-SEM装置中，能够在使用了二次电子的FIB加工中进行SEM观察。
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公开(公告)号：CN103155088A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201180050366.4
申请日：2011-10-17
Applicant: 威科仪器有限公司
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/3053 , H01J37/24 , H01J2237/08 , H02H3/247
Abstract: 本公开技术提供了一种响应式离子束源电源系统（200、300、400），该系统无需依赖传统的保护电路（例如，保险丝和断路器），就能够处理故障事件，从而最小化用户由于普通的故障情况而对物理电源硬件的干预，并且在经历故障情况之后，离子束源电源系统（200、300、400）可自动恢复。本公开技术进一步公开了一种离子束源电源系统（200、300、400），该系统能够检测和诊断故障状态，自主执行命令决策来保持或保护其他离子源模块或子系统的功能，和/或从中断的故障事件中缓解或恢复，以及使离子束源系统（100）返回到所期望的用户设置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102157324A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201010593088.4
申请日：2010-12-14
Applicant: SPP处理技术系统英国有限公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/244 , H01J37/34 , H01J37/24
CPC classification number: H01J27/022 , H01J37/24 , H01J2237/0206 , H01J2237/08 , H01J2237/3146
Abstract: 本发明涉及一种与非导电靶(14)一起使用的离子束源(10)，包括：栅格(13)，用于提取离子；以及电源，用于向栅格(13)提供脉冲式电源以提取离子。
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公开(公告)号：CN103187223B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201210577853.2
申请日：2012-12-27
Inventor： C.M.斯米特 , J.A.M.范登厄特拉
IPC: H01J37/02
CPC classification number: H01J37/26 , G05D23/00 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J2237/002 , H01J2237/0203
Abstract: 本发明的名称为带电粒子束系统中的漂移控制。本发明涉及一种用于减少带电粒子束系统中的漂移的方法和设备。所述方法包括：提供包括带电粒子束、透镜系统以及样品室的带电粒子束镜筒；在所述透镜系统与所述样品室之间布置温控装置以控制所述透镜系统与所述样品室之间的热传递；以及控制所述温控装置的温度以减少或者消除所述样品室内的样品的位置相对于所述带电粒子束的位置的热漂移。
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公开(公告)号：CN104956461B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201480006842.6
申请日：2014-01-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , G01T1/20 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/30 , H01J37/3178
Abstract: 本发明的目的在于，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，提取出因某特定的带电粒子束产生的信号，例如在FIB‑SEM装置中分离因离子束照射而产生的二次电子信号和因电子束照射而产生的二次电子信号，涉及高速地调制带电粒子束的照射条件，检测与调制周期同步的信号。另外，涉及对来自发光特性不同的2种以上的荧光体的发光进行分光而检测各自的信号强度，根据设定只向样本照射第一带电粒子束时的第一信号强度和只向样本照射第二带电粒子束时的第二信号强度的比率的机构的比率来处理信号。根据本发明，在同时向样本照射多个带电粒子束的情况下，也能够只提取出因希望的带电粒子束产生的信号。例如在FIB‑SEM装置中，能够在使用了二次电子的FIB加工中进行SEM观察。
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公开(公告)号：CN105874560A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480071806.8
申请日：2014-11-14
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/065
CPC classification number: G21K1/02 , G21K5/04 , H01J37/026 , H01J37/065 , H01J37/12 , H01J37/16 , H01J37/24 , H01J37/3002 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3175 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/0216 , H01J2237/024 , H01J2237/032 , H01J2237/04 , H01J2237/1215 , H01J2237/16 , H01J2237/1825 , H01J2237/303 , H01J2237/30472
Abstract: 本发明涉及一种准直器电极，其包括设置有中心电极孔(82)的电极主体(81)，其中所述电极主体限定介于两个相反的主要表面之间的电极高度，并且其中所述电极主体在所述电极主体内部容纳用于传送冷却液体(102)的冷却导管(105)。所述电极主体优选地具有圆盘形状或扁圆环形状。本发明还涉及一种适用于带电粒子束产生器的准直器电极堆叠，其包括：第一准直器电极和第二准直器电极，其各自设置有用于传送所述冷却液体(102)的冷却导管(105)；以及连接导管(110)，其用于所述第一及第二准直器电极的所述冷却导管之间的液体连接。
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公开(公告)号：CN105531793A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201480047309.4
申请日：2014-05-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/295 , G01N23/04 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/10 , G01N23/20058 , G01N2223/418 , H01J37/04 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/1472 , H01J37/153 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/295 , H01J2237/21 , H01J2237/2614
Abstract: 本发明提供一种电子显微镜，其特征在于，在通过关闭透射电子显微镜的物镜(5)，使电子束的交叉(11、13)与限制视场光阑(65)一致，并使第一成像透镜(61)的焦距变化，来进行试样的像观察模式与试样的衍射图案观察模式的切换的无透镜傅科法中，在第一成像透镜(61)的后段配置偏转器(81)，在确定成像光学系统的条件后能够固定照射光学系统(4)的条件。由此，在不安装磁屏蔽透镜的通常的通用型透射电子显微镜中，也能够对操作者没有负担地实施无透镜傅科法。
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