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公开(公告)号：CN103907004A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
Abstract: 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN103907004B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201280051975.6
申请日：2012-10-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261
Abstract: 本发明提供一种电子显微法的观察样品、电子显微法、电子显微镜以及观察样品制作装置。抑制一次电子导致的带电，根据观察样品得到明确的边缘对比度，高精度地测量试料的表面形状。使用试料上的包含离子液体的液状介质为薄膜状或者网膜状的观察样品。此外，在使用该观察样品的电子显微法中，包括：测量试料上的包含离子液体的液状介质的膜厚的工序；基于包含上述离子液体的液状介质的膜厚来控制一次电子的照射条件的工序；和按照上述一次电子的照射条件照射一次电子并对上述试料的形态进行图像化的工序。
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公开(公告)号：CN118120040A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202180103493.X
申请日：2021-12-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/141 , H01J37/147 , H01J37/153
Abstract: 多极透镜具有：空芯圆筒状的非磁性体绕线管，其设有多个狭缝；以及金属导线，设N为自然数，多个狭缝以相邻的狭缝间的中心角为(360/12N)°的方式配置，多个狭缝中的金属导线的匝数相等，在将非磁性体绕线管的与狭缝的长度方向正交的截面划分成中心角相等且包含两个以上的狭缝的偶数个区域时，区域所包含的狭缝中金属导线通过的方向相同，且与相邻的区域所包含的狭缝中金属导线通过的方向相反。
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