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公开(公告)号:CN300684585D
公开(公告)日:2007-08-29
申请号:CN200630134749.1
申请日:2006-08-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
Designer: 大沼满 , 中村邦康 , 斋藤浩一郎 , 桥本隆仁 , 稻田博实
Abstract: 本产品是通过物镜、磁场镜和投影收缩电子束,提供试样的放大图