公开(公告)号：CN103703537B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201280035812.9

申请日：2012-07-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 稻田博实 ,  中村邦康

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/153 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/263 ,  G01N23/2206 ,  H01J37/153 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/153 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/225 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。

公开(公告)号：CN103703537A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201280035812.9

申请日：2012-07-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 稻田博实 ,  中村邦康

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/153 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/263 ,  G01N23/2206 ,  H01J37/153 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/153 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/225 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。

公开(公告)号：CN300684585D

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200630134749.1

申请日：2006-08-10

Applicant: 株式会社日立高新技术

Designer： 大沼满 ,  中村邦康 ,  斋藤浩一郎 ,  桥本隆仁 ,  稻田博实

Abstract: 本产品是通过物镜、磁场镜和投影收缩电子束，提供试样的放大图