公开(公告)号：CN111566775B

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN201880085852.1

申请日：2018-03-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 菊池秀树 ,  古津忠夫 ,  斋藤浩一郎 ,  铃木秀和 ,  滑川亮史

IPC: H01J37/20

Abstract: 本发明的目的在于提供一种在由电子显微镜取得连续倾斜图像时更高速且高倍率地拍摄图像的技术。在本发明的电子显微镜中，具备固定于电子显微镜的镜体并相对于试样支架的前端所具备的球形支点滑动的第一球面承载件、设于镜体的球面部、以及设于镜体的外部的第二球面承载件，在球面部与第二球面承载件的接触部，球面部和第二球面承载件滑动，该滑动的轨道沿以第一球面承载件的中心轴为中心的球面设置，从而能够减少试样距观察位置的错开、焦点偏离。

公开(公告)号：CN111566775A

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN201880085852.1

申请日：2018-03-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 菊池秀树 ,  古津忠夫 ,  斋藤浩一郎 ,  铃木秀和 ,  滑川亮史

IPC: H01J37/20

Abstract: 本发明的目的在于提供一种在由电子显微镜取得连续倾斜图像时更高速且高倍率地拍摄图像的技术。在本发明的电子显微镜中，具备固定于电子显微镜的镜体并相对于试样支架的前端所具备的球形支点滑动的第一球面承载件、设于镜体的球面部、以及设于镜体的外部的第二球面承载件，在球面部与第二球面承载件的接触部，球面部和第二球面承载件滑动，该滑动的轨道沿以第一球面承载件的中心轴为中心的球面设置，从而能够减少试样距观察位置的错开、焦点偏离。