公开(公告)号：CN107004555B

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201580063022.5

申请日：2015-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 奥村大河 ,  大岛卓 ,  大南佑介 ,  庄子美南 ,  久田明子 ,  米山明男

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

Abstract: 通过带电粒子显微镜装置简便地实施由光学显微镜所观察到的试样的三维内部构造观察，并且通过透射带电粒子图像准确地测量试样内部构造的三维位置关系、密度分布。具有试样台旋转部，其可以将试样台(500)表面与一次带电粒子束的光轴所形成的角的角度倾斜为不垂直的角度(θ)的状态来使该试样台(500)旋转，试样台(500)被构成为包括检测在试样的内部散射或透射后的带电粒子的检测元件，通过在使试样台旋转部旋转到多个不同的角度(φ)的状态下向试样照射一次带电粒子束，来取得与各角度(φ)相对应的所述试样的透射带电粒子图像。

公开(公告)号：CN107004555A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580063022.5

申请日：2015-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 奥村大河 ,  大岛卓 ,  大南佑介 ,  庄子美南 ,  久田明子 ,  米山明男

IPC: H01J37/20 ,  G01N23/04 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/222 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/20 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/228 ,  H01J2237/2802

Abstract: 通过带电粒子显微镜装置简便地实施由光学显微镜所观察到的试样的三维内部构造观察，并且通过透射带电粒子图像准确地测量试样内部构造的三维位置关系、密度分布。具有试样台旋转部，其可以将试样台(500)表面与一次带电粒子束的光轴所形成的角的角度倾斜为不垂直的角度(θ)的状态来使该试样台(500)旋转，试样台(500)被构成为包括检测在试样的内部散射或透射后的带电粒子的检测元件，通过在使试样台旋转部旋转到多个不同的角度(φ)的状态下向试样照射一次带电粒子束，来取得与各角度(φ)相对应的所述试样的透射带电粒子图像。