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    测量装置和观测条件的设定方法
    1.
    发明公开
    测量装置和观测条件的设定方法 有权

    公开(公告)号：CN110168696A

    公开(公告)日：2019-08-23

    申请号：CN201780082429.1

    申请日：2017-05-12

    Applicant: 株式会社日立高新技术

    Inventor： 荒木亮子 ,  津野夏规 ,  中村洋平 ,  笹岛正弘 ,  中村光宏 ,  扬村寿英

    IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

    Abstract: 本发明提供一种照射带电粒子束来观察试样的测量装置，其特征在于，包括：输出带电粒子束的粒子源；使带电粒子束聚焦的透镜；对从照射了带电粒子束的试样发射的发射电子的信号进行检测的检测器；和基于观测条件对带电粒子束的输出和发射电子的信号的检测进行控制的控制装置，作为所述观测条件，控制装置设定用于控制带电粒子束的照射周期的第1参数、用于控制脉冲状的带电粒子束的脉冲宽度的第2参数、用于在脉冲状的带电粒子束的照射时间内控制发射电子的信号的检测时刻的第3参数，第3参数是基于从带电粒子束的照射位置发射的多个发射电子的信号各自的强度之差而决定的。

    试样支架、膜间距离调整机构以及带电粒子束装置
    2.
    发明公开
    试样支架、膜间距离调整机构以及带电粒子束装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN114556514A

    公开(公告)日：2022-05-27

    申请号：CN201980101094.2

    申请日：2019-10-10

    Applicant: 株式会社日立高新技术 ,  国立研究开发法人产业技术综合研究所

    Inventor： 波田野道夫 ,  中村光宏 ,  小椋俊彦

    IPC: H01J37/20

    Abstract: 本发明可靠地利用试样支架对液体状或凝胶状的试样进行保持，提高利用带电粒子束装置进行观察的合格率。试样支架(101)具有：第一部件(102)，其具有盖部件(111)和具备形成有包括第一绝缘性薄膜(104)在内的层叠膜的第一窗口(123)的第一芯片(105)；以及第二部件(103)，其具有形成有第一底部密封面(203)及第二底部密封面(200)的母材(127)、配置于母材的电极(108)以及第二芯片(107)，该第二芯片(107)具备形成有第二绝缘性薄膜(106)的第二窗口(124)，且以使第二窗口与电极对置的方式经由第二密封件(119)保持在第二底部密封面上，第一部件与第二部件组合，第一密封件在第一底部密封面以及盖部件的上部密封面之间被压扁，由此比第一密封件靠内部的区域相对于第一密封件的外部的区域保持为气密。

    试样支架以及电子显微镜
    3.
    发明公开
    试样支架以及电子显微镜 审中-实审

    公开(公告)号：CN116997989A

    公开(公告)日：2023-11-03

    申请号：CN202180095817.X

    申请日：2021-03-31

    Applicant: 株式会社日立高新技术

    Inventor： 朝仓佑吏 ,  波田野道夫 ,  中村光宏

    IPC: H01J37/20

    Abstract: 提高能够填充液体试样的试样支架的性能。试样支架(200)具有：上侧片材(300)，其配置于电子束的照射侧；以及下侧片材(400)，其与上侧片材(300)对置配置。此时，试样支架(200)具备：隔膜(350)，其设置于上侧片材(300)；隔膜(450)，其设置于下侧片材(400)；空间(600)，其被隔膜(350)与隔膜(450)所夹，而且能够填充液体；以及引导部(340)，其引导超过能够填充于空间(600)的液体量的液体从与电子束的照射侧相反的一侧滴下。

    测量装置和观测条件的设定方法
    4.
    发明授权
    测量装置和观测条件的设定方法 有权

    公开(公告)号：CN110168696B

    公开(公告)日：2021-07-30

    申请号：CN201780082429.1

    申请日：2017-05-12

    Applicant: 株式会社日立高新技术

    Inventor： 荒木亮子 ,  津野夏规 ,  中村洋平 ,  笹岛正弘 ,  中村光宏 ,  扬村寿英

    IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

    Abstract: 本发明提供一种照射带电粒子束来观察试样的测量装置，其特征在于，包括：输出带电粒子束的粒子源；使带电粒子束聚焦的透镜；对从照射了带电粒子束的试样发射的发射电子的信号进行检测的检测器；和基于观测条件对带电粒子束的输出和发射电子的信号的检测进行控制的控制装置，作为所述观测条件，控制装置设定用于控制带电粒子束的照射周期的第1参数、用于控制脉冲状的带电粒子束的脉冲宽度的第2参数、用于在脉冲状的带电粒子束的照射时间内控制发射电子的信号的检测时刻的第3参数，第3参数是基于从带电粒子束的照射位置发射的多个发射电子的信号各自的强度之差而决定的。

    带电粒子线装置
    5.
    发明授权
    带电粒子线装置 有权

    公开(公告)号：CN109314030B

    公开(公告)日：2020-08-14

    申请号：CN201680086434.5

    申请日：2016-06-23

    Applicant: 株式会社日立高新技术

    Inventor： 中村光宏 ,  板桥洋宪 ,  佐藤博文 ,  斋藤勉 ,  笹岛正弘 ,  津野夏规 ,  中村洋平

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/075 ,  H01J37/252

    Abstract: 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。

    带电粒子线装置
    6.
    发明公开
    带电粒子线装置 有权

    公开(公告)号：CN109314030A

    公开(公告)日：2019-02-05

    申请号：CN201680086434.5

    申请日：2016-06-23

    Applicant: 株式会社日立高新技术

    Inventor： 中村光宏 ,  板桥洋宪 ,  佐藤博文 ,  斋藤勉 ,  笹岛正弘 ,  津野夏规 ,  中村洋平

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/075 ,  H01J37/252

    Abstract: 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。

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