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公开(公告)号：CN110770875B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201780089056.0
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明的电荷粒子线装置对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质(对比度等)的图像。为此，是一种电荷粒子线装置，其具备：试料(115)台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器(121、122)，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部(103)，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器(104)，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息(510)显示到观察辅助画面(401)。
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公开(公告)号：CN114270182B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN201980099623.X
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/252
Abstract: 本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。
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公开(公告)号：CN114709120A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210355239.5
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明提供一种电荷粒子线装置和电荷粒子线装置的条件设定方法，对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质的图像。电荷粒子线装置具备：试料台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息显示到观察辅助画面。
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公开(公告)号：CN114341631A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201980099996.7
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/252
Abstract: 一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。
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公开(公告)号：CN109314030B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201680086434.5
申请日：2016-06-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/075 , H01J37/252
Abstract: 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109314030A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201680086434.5
申请日：2016-06-23
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/28 , H01J37/075 , H01J37/252
Abstract: 为了提供即使相对于高真空环境下的非导电性试料也能检测稳定的二次粒子(23)、电磁波(24)并能进行良好的观察、分析的带电粒子线装置，使带电粒子线装置具有：带电粒子枪(12)；使带电粒子线(20)在试料(21)上进行扫描的扫描偏转器(17、18)；检测从外部向扫描偏转器输入的扫描控制电压的检测部(40、41)；基于检测到的扫描控制电压来计算带电粒子线(20)的照射像素坐标的运算部(42)；以及根据照射像素坐标控制向试料(21)的带电粒子线(20)的照射的照射控制部(45)。
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公开(公告)号：CN114341631B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN201980099996.7
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/24 , H01J37/252
Abstract: 一种带电粒子束装置(100)具有：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；粒子检测部(130)，其对向试样(S)照射带电粒子束引起的粒子进行检测；以及控制部(151)，其根据来自粒子检测部(130)的输出来生成试样(S)的图像，控制部(151)向用于检测第一构造(401)以及第二构造(402)的模型(M1)以及(M2)输入试样(S)的图像，从模型(M1)以及(M2)取得与第一构造(401)相关的第一检测结果以及与第二构造(402)相关的第二检测结果，根据第一检测结果以及第二检测结果来决定第一构造(401)以及第二构造(402)的位置或区域，输出表示第一构造(401)的位置或区域以及第二构造(402)的位置或区域的综合结果图像(203)。
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公开(公告)号：CN114270182A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201980099623.X
申请日：2019-09-04
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/2251 , H01J37/22 , H01J37/252
Abstract: 本发明的带电粒子束装置(100)具备：照射部(110)，其对试样(S)照射带电粒子束；检测部(130)，其输出向试样(S)照射带电粒子束引起的信号；显示部(154)，其输出用于从多个条件组中选择1个条件组的条件选择界面；以及控制部(151)，其执行与关注对象物相关的评价。条件组包含：从多个已学习模型中确定1个已学习模型的信息；从包含照射条件以及检测条件的至少一方的多个搜索条件中确定1个搜索条件的信息；以及从规定照射部(110)以及检测部(130)的至少一方的动作的多个解析条件中确定1个解析条件的信息。带电粒子束装置(100)经由条件选择界面接受条件组的选择，基于所确定的搜索条件，对试样(S)的第一区域照射带电粒子束，检测由该照射引起的第一信号，向所确定的已学习模型交接基于第一信号的信息，从所确定的已学习模型取得表示包含关注对象物的候选位置的试样(S)的第二区域的信息，第二区域是第一区域的一部分且比第一区域小，基于所确定的解析条件，对第二区域照射带电粒子束，对由该照射引起的第二信号进行检测，将基于第二信号的信息输入到控制部(151)。
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公开(公告)号：CN110770875A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201780089056.0
申请日：2017-04-21
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明的电荷粒子线装置对操作者的观察条件设定进行辅助，使得能够不局限于基于操作者的经验的试错地，通过电荷粒子线装置获取希望的画质(对比度等)的图像。为此，是一种电荷粒子线装置，其具备：试料(115)台，其载置试料；电荷粒子光学系统，其向试料照射电荷粒子束；检测器(121、122)，其检测由于电荷粒子束与试料的相互作用而产生的电子；控制部(103)，其根据由操作者设定的观察条件控制试料台和电荷粒子光学系统，根据来自检测器的检测信号形成图像；显示器(104)，其显示用于设定观察条件的观察辅助画面，其中，控制部将与在观察条件下通过电荷粒子光学系统照射到试料的每个像素的照射电子量有关的信息(510)显示到观察辅助画面(401)。
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公开(公告)号：CN302619668S
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201330224649.8
申请日：2013-05-30
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 1.本外观设计产品名称为：电子显微镜。2.本外观设计产品的用途为：本外观设计的产品用于观察对象的实验材料进行电子射线照射，可对其他表示装置中的试验材料进行观察或分析的电子显微镜。3.本外观设计的设计要点在于：本外观设计产品的形状，特别在于示出各部名称参考图中斜线所表示的部分为透明。4.立体图为本外观设计的代表图。5.在示出B部各名称参考图中斜线部分为透明性材质。6.在示出B部各名称参考图中，G-灯光按钮；H-LCD面板；I-灯光按钮；J-锁定按钮；K-紧急停止按钮；L-操作按钮；M-灯光按钮。
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